Негізгі ерекшеліктері:
1. Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі:
температура 1600 C дейін жоғары болған кезде тотығуға төзімділік әлі де өте жақсы.
2. Жоғары тазалық: жоғары температурада хлорлау жағдайында химиялық бу тұндыру арқылы жасалған.
3. Эрозияға төзімділік: жоғары қаттылық, ықшам беті, ұсақ бөлшектер.
4. Коррозияға төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.
Негізгі техникалық сипаттамаларыCVD-SIC жабыны
SiC-CVD қасиеттері | ||
Кристалл құрылымы | FCC β фазасы | |
Тығыздығы | г/см³ | 3.21 |
Қаттылық | Викерс қаттылығы | 2500 |
Астық мөлшері | мкм | 2~10 |
Химиялық тазалық | % | 99.99995 |
Жылу сыйымдылығы | Дж·кг-1 ·К-1 | 640 |
Сублимация температурасы | ℃ | 2700 |
Фелексальды күш | МПа (RT 4-нүкте) | 415 |
Жас модулі | Gpa (4pt иілу, 1300℃) | 430 |
Термиялық кеңею (CTE) | 10-6К-1 | 4.5 |
Жылу өткізгіштік | (Вт/мК) | 300 |