Оңалту процесінің бөліктері

Жартылай өткізгішті оюға арналған SiC жабын тасушылар
Жартылай өткізгішке арналған кремний карбиді RTA тасымалдаушы пластина
RTP/RTA жылдам қыздыру термиялық өңдеуге арналған SiC тасымалдаушысы
Жарықдиодты өнеркәсібіндегі ICP өңдеу процестеріне арналған SiC түйреуіш науалар
Жартылай өткізгішті пластинаны беру үшін PSS өңдеу тасымалдаушысы
Арнайы жартылай өткізгіш ICP науасы (ою)
Жарықдиодты өрнек кремний карбидті подшипник науасы, ICP науасы (Etch)
Жоғары температураға және коррозияға төзімді жарықдиодты кремний карбиді ою науасы (ICP ою науасы)