PART/1CVD (Химиялық буларды тұндыру) әдісі: 900-2300℃ температурада, тантал және көміртек көздері ретінде TaCl5 және CnHm, қалпына келтіретін атмосфера ретінде H₂, Ar₂as тасымалдаушы газ, реакциялық тұндыру пленкасы.Дайындалған жабын ықшам, біркелкі және жоғары тазалықта.Дегенмен, кейбір проблемалар бар ...
Ары қарай оқу