Сипаттама
Semicera компаниясының SiC қапталған графитті қабылдағыштары жоғары сапалы графит субстраттарын пайдалана отырып жасалған, олар озық химиялық буларды тұндыру (CVD) процестері арқылы кремний карбидімен (SiC) мұқият қапталған. Бұл инновациялық дизайн термиялық соққыға және химиялық деградацияға ерекше төзімділікті қамтамасыз етеді, SiC қапталған графит қабылдағыштың қызмет ету мерзімін едәуір ұзартады және жартылай өткізгіштерді өндіру процесінде сенімді өнімділікке кепілдік береді.
Негізгі ерекшеліктері:
1. Жоғары жылу өткізгіштікSiC қапталған графит қабылдағыш тамаша жылу өткізгіштігін көрсетеді, бұл жартылай өткізгіштерді өндіру кезінде тиімді жылуды тарату үшін өте маңызды. Бұл мүмкіндік пластинаның бетіндегі жылу градиенттерін азайтып, қажетті жартылай өткізгіш қасиеттерге қол жеткізу үшін қажетті температураның біркелкі таралуына ықпал етеді.
2. Мықты химиялық және термиялық соққыға төзімділікSiC жабыны химиялық коррозиядан және термиялық соққыдан керемет қорғанысты қамтамасыз етеді, тіпті қатал өңдеу орталарында графит қабылдағыштың тұтастығын сақтайды. Бұл жақсартылған ұзақ мерзімділік тоқтау уақытын қысқартады және қызмет ету мерзімін ұзартады, жартылай өткізгіштер өндірісіндегі өнімділік пен үнемділіктің артуына ықпал етеді.
3. Арнайы қажеттіліктер үшін теңшеуБіздің SiC жабынымен қапталған графит қабылдағыштарды арнайы талаптар мен артықшылықтарға сәйкес келтіруге болады. Біз дизайн икемділігін және әртүрлі қолданбалар мен процесс параметрлері үшін оңтайландырылған өнімділікті қамтамасыз ету үшін өлшемді реттеулер мен жабын қалыңдығындағы өзгерістерді қоса, теңшеу опцияларының ауқымын ұсынамыз.
Қолданбалар:
ҚолдануларSemicera SiC жабындары жартылай өткізгіштерді өндірудің әртүрлі кезеңдерінде қолданылады, соның ішінде:
1. -Жарық диодты чиптерді жасау
2. - Полисилиций өндірісі
3. -Жартылай өткізгішті кристалдардың өсуі
4. -Кремний және SiC эпитаксисі
5. -Термиялық тотығу және диффузия (TO&D)