Жартылайоның жоғары сапасымен таныстырадыЭпитаксияқазіргі жартылай өткізгіш өнеркәсібінің талаптарын қанағаттандыруға арналған қызметтер. Эпитаксиалды кремний қабаттары электрондық құрылғылардың өнімділігі мен сенімділігі үшін өте маңызды және біздің Si Epitaxy шешімдеріміз компоненттеріңіздің оңтайлы функционалдылыққа қол жеткізуін қамтамасыз етеді.
Дәлдікпен өсірілген кремний қабаттары Жартылайжоғары өнімді құрылғылардың негізі қолданылатын материалдардың сапасында жатқанын түсінеді. БіздіңЭпитаксияБұл процесс ерекше біркелкі және кристалдық тұтастығы бар кремний қабаттарын алу үшін мұқият бақыланады. Бұл қабаттар микроэлектроникадан бастап жетілдірілген қуат құрылғыларына дейінгі қолданбалар үшін өте маңызды, мұнда тұрақтылық пен сенімділік маңызды.
Құрылғы өнімділігі үшін оңтайландырылғанTheЭпитаксияSemicera ұсынатын қызметтер құрылғыларыңыздың электрлік қасиеттерін жақсартуға бейімделген. Ақаудың төмен тығыздығы бар жоғары таза кремний қабаттарын өсіре отырып, біз сіздің құрамдас бөліктердің тасымалдаушының қозғалғыштығын жақсартып, электр кедергісін азайта отырып, ең жақсы жұмыс істеуін қамтамасыз етеміз. Бұл оңтайландыру заманауи технология талап ететін жоғары жылдамдық пен жоғары тиімділік сипаттамаларына қол жеткізу үшін өте маңызды.
Қолданбалардың әмбебаптығы ЖартылайныңЭпитаксияCMOS транзисторларын, қуатты MOSFETтерді және биполярлы транзисторларды өндіруді қоса алғанда, қолданбалардың кең ауқымы үшін қолайлы. Біздің икемді үдерісіміз жоғары жиілікті қолданбалар үшін жұқа қабаттар немесе қуат құрылғылары үшін қалыңырақ қабаттар қажет пе, жобаңыздың нақты талаптарына негізделген теңшеуге мүмкіндік береді.
Жоғары материал сапасыСапа - Semicera-да жасайтын барлық нәрсенің негізі. БіздіңЭпитаксияпроцесс әрбір кремний қабаты тазалық пен құрылымдық тұтастықтың ең жоғары стандарттарына сәйкес келетініне көз жеткізу үшін ең заманауи жабдықтар мен әдістерді пайдаланады. Бұл егжей-тегжейге назар аудару құрылғының жұмысына әсер ететін ақаулардың пайда болуын азайтады, нәтижесінде сенімдірек және ұзаққа созылатын құрамдас бөліктер пайда болады.
Инновацияларға берілгендік Жартылайжартылай өткізгіштер технологиясының алдыңғы қатарында қалуды міндеттейді. БіздіңЭпитаксияқызметтер эпитаксиалды өсу техникасындағы соңғы жетістіктерді қамтитын осы міндеттемені көрсетеді. Біз сіздің өнімдеріңіздің нарықта бәсекеге қабілетті болып қалуын қамтамасыз ете отырып, саланың дамып келе жатқан қажеттіліктерін қанағаттандыратын кремний қабаттарын жеткізу үшін процестерімізді үнемі жетілдіреміз.
Сіздің қажеттіліктеріңізге бейімделген шешімдерӘрбір жоба бірегей екенін түсіне отырып,Жартылайтеңшелген ұсынадыЭпитаксиянақты қажеттіліктеріңізге сәйкес келетін шешімдер. Сізге арнайы допинг профильдері, қабат қалыңдығы немесе бетті әрлеу қажет пе, біздің команда сіздің нақты сипаттамаларыңызға сәйкес келетін өнімді жеткізу үшін сізбен тығыз жұмыс істейді.
| Элементтер | Өндіріс | Зерттеу | Манеке |
| Кристалл параметрлері | |||
| Политип | 4H | ||
| Беттік бағдар қатесі | <11-20 >4±0,15° | ||
| Электрлік параметрлер | |||
| Допант | n-типті азот | ||
| Қарсылық | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Механикалық параметрлер | |||
| Диаметрі | 150,0±0,2мм | ||
| Қалыңдығы | 350±25 мкм | ||
| Бастапқы жазық бағдарлау | [1-100]±5° | ||
| Негізгі жалпақ ұзындық | 47,5±1,5мм | ||
| Екінші пәтер | Жоқ | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм(5мм*5мм) | ≤5 мкм(5мм*5мм) | ≤10 мкм(5мм*5мм) |
| Садақ | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Бұрыш | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Алдыңғы (Si-бет) кедір-бұдырлығы (AFM) | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) | ||
| Құрылымы | |||
| Микроқұбырдың тығыздығы | <1 э/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Металл қоспалары | ≤5E10атом/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 е/см2 | ≤3000 е/см2 | NA |
| TSD | ≤500 е/см2 | ≤1000 е/см2 | NA |
| Алдыңғы сапа | |||
| Алдыңғы | Si | ||
| Беткі әрлеу | Si-face CMP | ||
| Бөлшектер | ≤60ea/вафли (өлшемі≥0,3мкм) | NA | |
| сызаттар | ≤5е/мм. Жиынтық ұзындық ≤Диаметр | Жиынтық ұзындық≤2*Диаметр | NA |
| Апельсин қабығы / шұңқырлар / дақтар / жолақтар / жарықтар / ластану | Жоқ | NA | |
| Шеткі чиптер/шегістер/сынулар/алты қырлы тақталар | Жоқ | ||
| Политипті аймақтар | Жоқ | Жиынтық ауданы≤20% | Жиынтық ауданы≤30% |
| Алдыңғы лазерлік таңбалау | Жоқ | ||
| Артқы сапа | |||
| Артқы мәре | C-бет CMP | ||
| сызаттар | ≤5ea/мм,Жиынтық ұзындық≤2*Диаметр | NA | |
| Артқы ақаулар (жиек чиптері/шегіністері) | Жоқ | ||
| Артқы кедір-бұдыр | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) | ||
| Артқы лазерлік таңбалау | 1 мм (жоғарғы шетінен) | ||
| Жиек | |||
| Жиек | Фака | ||
| Қаптама | |||
| Қаптама | Вакуумды орауышпен эпи-дайын Көп вафлилі кассеталық қаптама | ||
| *Ескертпелер: «NA» сұрау жоқ дегенді білдіреді Атылмаған элементтер SEMI-STD-ге сілтеме жасай алады. | |||
