Өнім Сипаттамасы
Біздің компания графит, керамика және басқа материалдардың бетіне CVD әдісімен SiC жабынымен қаптау қызметтерін ұсынады, осылайша құрамында көміртегі мен кремний бар арнайы газдар жоғары температурада әрекеттеседі, жоғары таза SiC молекулаларын, қапталған материалдардың бетіне тұндырылған молекулаларды, SIC қорғаныс қабатын құрайды.
Негізгі ерекшеліктері:
1. Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі:
температура 1600 C дейін жоғары болған кезде тотығуға төзімділік әлі де өте жақсы.
2. Жоғары тазалық: жоғары температурада хлорлау жағдайында химиялық бу тұндыру арқылы жасалған.
3. Эрозияға төзімділік: жоғары қаттылық, ықшам беті, ұсақ бөлшектер.
4. Коррозияға төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.
CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары
| SiC-CVD қасиеттері | ||
| Кристалл құрылымы | FCC β фазасы | |
| Тығыздығы | г/см³ | 3.21 |
| Қаттылық | Викерс қаттылығы | 2500 |
| Астық мөлшері | мкм | 2~10 |
| Химиялық тазалық | % | 99.99995 |
| Жылу сыйымдылығы | Дж·кг-1 ·К-1 | 640 |
| Сублимация температурасы | ℃ | 2700 |
| Фелексальды күш | МПа (RT 4-нүкте) | 415 |
| Жас модулі | Gpa (4pt иілу, 1300℃) | 430 |
| Термиялық кеңею (CTE) | 10-6К-1 | 4.5 |
| Жылу өткізгіштік | (Вт/мК) | 300 |
-
Бөшкедегі сусцептордағы кремнийдің эпитаксиалды тұндыру
-
Өнеркәсіптік пештерге арналған графит қыздырғыш элементтері
-
Жартылай өткізгішті кремний карбидті вафельді қайық болуы мүмкін...
-
SiC Coatin бар жартылай өткізгіш эпитаксиалды реактор...
-
ICP өңдеу процестеріне арналған SiC түйреуіш науалар ...
-
MOCVD субстратына арналған қыздыру элементтері