Жартылай өткізгішті оюға арналған SiC жабын тасушылар

Қысқаша сипаттама:

Semicera Semiconductor Technology Co., Ltd. озық жартылай өткізгіш керамиканың жетекші жеткізушісі болып табылады. Біздің негізгі өнімдерімізге мыналар жатады: кремний карбидті өрнектелген дискілер, кремний карбиді қайық тіркемелері, кремний карбидті пластиналар (PV және жартылай өткізгіш), кремний карбидті пеш түтіктері, кремний карбиді консоль қалақшалары, кремний карбиді патрондары, кремний карбиді арқалықтар, сондай-ақ SiC және CVD TaC жабындары.

Өнімдер негізінен жартылай өткізгіш және фотоэлектрлік өнеркәсіптерде, мысалы, кристалдардың өсуі, эпитаксия, өрнектеу, орау, қаптау және диффузиялық пештердің жабдықтарында қолданылады.

 

 


Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

Сипаттама

Біздің компания графит, керамика және басқа да материалдардың бетіне CVD әдісімен SiC жабынымен жабу процесін қамтамасыз етеді, осылайша көміртегі мен кремнийі бар арнайы газдар жоғары температурада әрекеттеседі, жоғары таза SiC молекулаларын, қапталған материалдардың бетіне тұндырылған молекулаларды, SIC қорғаныс қабатын құрайды.

Негізгі мүмкіндіктер

1. Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі:
температура 1600 C дейін жоғары болған кезде тотығуға төзімділік әлі де өте жақсы.
2. Жоғары тазалық: жоғары температурада хлорлау жағдайында химиялық бу тұндыру арқылы жасалған.
3. Эрозияға төзімділік: жоғары қаттылық, ықшам беті, ұсақ бөлшектер.
4. Коррозияға төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.

CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары

SiC-CVD қасиеттері

Кристалл құрылымы FCC β фазасы
Тығыздығы г/см³ 3.21
Қаттылық Викерс қаттылығы 2500
Астық мөлшері мкм 2~10
Химиялық тазалық % 99.99995
Жылу сыйымдылығы Дж·кг-1 ·К-1 640
Сублимация температурасы 2700
Фелексальды күш МПа (RT 4-нүкте) 415
Жас модулі Gpa (4pt иілу, 1300℃) 430
Термиялық кеңею (CTE) 10-6К-1 4.5
Жылу өткізгіштік (Вт/мК) 300
Жартылай жұмыс орны
Жартылай жұмыс орны 2
Жабдық машинасы
CNN өңдеу, химиялық тазалау, CVD жабыны
Біздің қызмет

  • Алдыңғы:
  • Келесі: