Жартылаймақтанышпен ұсынадыGa2O3Эпитаксия, энергетикалық электроника мен оптоэлектроника шекараларын ығыстыруға арналған заманауи шешім. Бұл жетілдірілген эпитаксиалды технология Галлий оксидінің (Га2O3) талап етілетін қолданбаларда жоғары өнімділікті қамтамасыз ету.
Негізгі ерекшеліктері:
• Ерекше кең ауқым: Ga2O3Эпитаксияультра кең жолақ аралығымен ерекшеленеді, бұл жоғары бұзылу кернеулері мен қуатты орталарда тиімді жұмыс істеуге мүмкіндік береді.
•Жоғары жылу өткізгіштік: Эпитаксиалды қабат тамаша жылу өткізгіштігін қамтамасыз етеді, тіпті жоғары температура жағдайында да тұрақты жұмысты қамтамасыз етеді, бұл оны жоғары жиілікті құрылғылар үшін өте қолайлы етеді.
•Жоғары материал сапасы: Ең аз ақаулармен жоғары кристалдық сапаға қол жеткізіңіз, бұл құрылғының оңтайлы өнімділігі мен ұзақ қызмет ету мерзімін қамтамасыз етеді, әсіресе қуатты транзисторлар мен УК детекторлары сияқты маңызды қолданбаларда.
•Қолданбалардың әмбебаптығы: Қуат электроникасы, РЖ қолданбалары және оптоэлектроника үшін өте қолайлы, келесі буын жартылай өткізгіш құрылғылар үшін сенімді негіз береді.
әлеуетін ашыңызGa2O3ЭпитаксияSemicera инновациялық шешімдерімен. Біздің эпитаксиалды өнімдеріміз құрылғыларыңыздың максималды тиімділік пен сенімділікпен жұмыс істеуіне мүмкіндік беретін сапа мен өнімділіктің ең жоғары стандарттарына сай етіп жасалған. Жартылай өткізгіштердің озық технологиясы үшін Semicera таңдаңыз.
| Элементтер | Өндіріс | Зерттеу | Манеке |
| Кристалл параметрлері | |||
| Политип | 4H | ||
| Беттік бағдар қатесі | <11-20 >4±0,15° | ||
| Электрлік параметрлер | |||
| Допант | n-типті азот | ||
| Қарсылық | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Механикалық параметрлер | |||
| Диаметрі | 150,0±0,2мм | ||
| Қалыңдығы | 350±25 мкм | ||
| Бастапқы жазық бағдарлау | [1-100]±5° | ||
| Негізгі жалпақ ұзындық | 47,5±1,5мм | ||
| Екінші пәтер | Жоқ | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм(5мм*5мм) | ≤5 мкм(5мм*5мм) | ≤10 мкм(5мм*5мм) |
| Садақ | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Соғыс | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Алдыңғы (Si-бет) кедір-бұдырлығы (AFM) | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) | ||
| Құрылымы | |||
| Микроқұбырдың тығыздығы | <1 э/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Металл қоспалары | ≤5E10атом/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 е/см2 | ≤3000 е/см2 | NA |
| TSD | ≤500 е/см2 | ≤1000 е/см2 | NA |
| Алдыңғы сапа | |||
| Алдыңғы | Si | ||
| Беткі әрлеу | Si-бет CMP | ||
| Бөлшектер | ≤60ea/вафли (өлшемі≥0,3мкм) | NA | |
| сызаттар | ≤5е/мм. Жиынтық ұзындық ≤Диаметр | Жиынтық ұзындық≤2*Диаметр | NA |
| Апельсин қабығы / шұңқырлар / дақтар / жолақтар / жарықтар / ластану | Жоқ | NA | |
| Шеткі чиптер/шегістер/сынулар/алты қырлы тақталар | Жоқ | ||
| Политипті аймақтар | Жоқ | Жиынтық ауданы≤20% | Жиынтық ауданы≤30% |
| Алдыңғы лазерлік таңбалау | Жоқ | ||
| Артқы сапа | |||
| Артқы мәре | C-бет CMP | ||
| сызаттар | ≤5ea/мм,Жиынтық ұзындық≤2*Диаметр | NA | |
| Артқы ақаулар (жиек чиптері/шегіністері) | Жоқ | ||
| Артқы кедір-бұдыр | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) | ||
| Артқы лазерлік таңбалау | 1 мм (жоғарғы шетінен) | ||
| Жиек | |||
| Жиек | Фака | ||
| Қаптама | |||
| Қаптама | Вакуумды орауышпен эпи-дайын Көп вафлилі кассеталық қаптама | ||
| *Ескертпелер: «NA» сұрау жоқ дегенді білдіреді Атылмаған элементтер SEMI-STD-ге сілтеме жасай алады. | |||
