Float Zone вафли қалқымалы аймақты балқыту әдісімен өсіріледі (Float Zone балқыту әдісі), сондай-ақ аймақтық балқыту пластинасы, FZ вафли ретінде белгілі, жоғары таза кремний пластинасы болып табылады, кремний пластинкаларының CZ монокристалды тікелей тартылған процесін алмастыра алады.CZ әдісімен өндірілген пластиналармен салыстырғанда, аймақтарға бөлінген вафлилердің көптеген артықшылықтары бар, мысалы, тигель жоқ, төмен өндірістік жүктеме және балқу температурасына шектеулер жоқ, бұл оларды күн модульдері, RF құрылғылары және дәл қуат құрылғылары сияқты қолданбалар үшін өте қолайлы етеді. FZ пластиналарындағы оттегі мен көміртегі қоспаларының концентрациясы төмен, оның механикалық беріктігін жақсарту үшін азот арнайы қосылады.
Элемент | Аргумент | Сұрау үлгісі |
Саны: |
| 100 дана |
Өсу әдісі: | Қалқымалы аймақ | FZ |
Диаметрі: | 50/75/100/150/200/300мм | 100мм |
Түрі/Допант: | P-түрі / N-түрі / ішкі | N-түрі |
Бағыт: | <1-0-0>/<1-1-0>/<1-1-1>或其它 | <100> |
Меншікті кедергі: | 100~30 000 Ом-см | 3000 Ом-см |
Қалыңдығы: | 275 мм ~ 775 мм | 500ум |
Аяқтау: | SSP/DSP | DSP |
Пәтерлер: | Кетік/Екі SEMI стандартты пәтерлер | Ойық |
САҒАН/БҰЗУ: | <10 мкм | <40ум |
TTV: | <5 мкм | <20 мм |
Сынып: | Prime / Test / Dummy | Премьер |