Кремний карбиді жабынына кіріспе
Біздің химиялық будың тұндыру (CVD) кремний карбиді (SIC) жабыны - бұл жоғары коррозия мен жылу кедергісі қажет ортаға өте берік және тозуға төзімді қабат.Кремний карбид жабыныжоғары өнімділік сипаттамаларын ұсына отырып, CVD процесі арқылы әртүрлі субстраттарға жұқа қабаттарда қолданылады.
Негізгі мүмкіндіктер
● -Көмелілік тазалығы: Өте таза құрамымен мақтанады99,99995%, біздіңSiC жабынысезімтал жартылай өткізгіш операцияларда ластану қаупін азайтады.
● -Жоғарғы қарсылық: Тозуға да, коррозияға да тамаша төзімділік көрсетеді, бұл оны химиялық және плазмалық параметрлерді қиындату үшін тамаша етеді.
● -Жоғары жылуөткізгіштік: Керемет термиялық қасиеттерінің арқасында төтенше температура кезінде сенімді өнімділікті қамтамасыз етеді.
● -Дүнешек тұрақтылығы: Төмен термиялық кеңею коэффициентінің арқасында температураның кең диапазонында құрылымдық тұтастықты сақтайды.
● -Жақсартылған қаттылық: Қаттылық рейтингімен40 ГПа, біздің SiC жабынымыз айтарлықтай соққыға және тозуға төзімді.
● -Тегіс бетті өңдеу: Бөлшектердің пайда болуын азайтып, жұмыс тиімділігін арттыра отырып, айна тәрізді әрлеуді қамтамасыз етеді.
Қолданбалар
Жартылай SiC жабындарыжартылай өткізгіштерді өндірудің әртүрлі кезеңдерінде қолданылады, соның ішінде:
● -LED чипі
● -Полисиликон өндірісі
● -Жартылай өткізгіш кристалдардың өсуі
● -Силикон және сик эпитакси
● -Термиялық тотығу және диффузия (TO&D)
Біз жоғары берік изостатикалық графиттен, көміртекті талшықпен күшейтілген көміртектен және 4Н қайта кристалданған кремний карбидінен жасалған SiC қапталған компоненттерді жеткіземіз, олар сұйық қабаттағы реакторларға арналған.STC-TCS түрлендіргіштері, CZ блогы шағылыстырғыштар, SIC вафли, SICWER PALDOR, SIC вафлиі.
Артықшылықтары
● -Ұзартылған қызмет мерзімі: Жабдықтың тоқтап тұруын және техникалық қызмет көрсету шығындарын айтарлықтай азайтып, жалпы өндіріс тиімділігін арттырады.
● -Жақсартылған сапа: Жартылай өткізгішті өңдеуге қажетті жоғары тазалықтағы беттерге қол жеткізеді, осылайша өнім сапасын арттырады.
● -Тиімділікті арттыру: Термиялық және CVD процестерін оңтайландырады, нәтижесінде цикл уақыттары мен жоғары өнімділікке әкеледі.
Техникалық сипаттамалар
● -Құрылым: FCC β фазалық поликристалды, негізінен (111) бағытталған
● -Тығыздық: 3,21 г/см³
● -Қаттылық: 2500 Vickes қаттылығы (500 г жүктеме)
● -Сыну беріктігі: 3,0 МПа·м1/2
● -Термиялық кеңею коэффициенті (100–600 °C): 4,3 x 10-6k-1
● -Эластикалық модуль(1300℃):435 GPa
● -Типтік пленка қалыңдығы:100 мкм
● -Беттің кедір-бұдырлығы:2-10 мкм
Тазалық деректері (жарқырау разрядының масс-спектроскопиясы арқылы өлшенеді)
| Элемент | ppm | Элемент | ppm |
| Li | < 0,001 | Cu | < 0,01 |
| Be | < 0,001 | Zn | < 0,05 |
| Әл | < 0,04 | Ga | < 0,01 |
| P | < 0,01 | Ge | < 0,05 |
| S | < 0,04 | As | < 0,005 |
| K | < 0,05 | In | < 0,01 |
| Ca | < 0,05 | Sn | < 0,01 |
| Ti | < 0,005 | Sb | < 0,01 |
| V | < 0,001 | W | < 0,05 |
| Cr | < 0,05 | Te | < 0,01 |
| Mn | < 0,005 | Pb | < 0,01 |
| Fe | < 0,05 | Bi | < 0,05 |
| Ni | < 0,01 |
|
