Жартылайтаныстырады850В жоғары қуатты GaN-on-Si Epi вафли, жартылай өткізгіш инновациялардағы серпіліс. Бұл жетілдірілген эпи вафли галлий нитридінің (GaN) жоғары тиімділігін кремнийдің (Si) үнемділігімен біріктіріп, жоғары вольтты қолданбалар үшін қуатты шешім жасайды.
Негізгі ерекшеліктері:
•Жоғары вольтты өңдеу: 850 В-қа дейін қолдау көрсету үшін әзірленген бұл GaN-on-Si Epi Wafer жоғары тиімділік пен өнімділікті қамтамасыз ететін қуатты электроникаға өте ыңғайлы.
•Жақсартылған қуат тығыздығы: Жоғары электрондардың қозғалғыштығы және жылу өткізгіштігі бар GaN технологиясы ықшам дизайнға және қуат тығыздығын арттыруға мүмкіндік береді.
•Тиімді шешім: Кремнийді субстрат ретінде пайдалану арқылы бұл эпи вафли сапасы мен өнімділігін төмендетпей, дәстүрлі GaN пластинкаларына үнемді балама ұсынады.
•Қолданбаның кең ауқымы: Сенімділік пен ұзақ мерзімділікті қамтамасыз ететін қуат түрлендіргіштерінде, радиожиілік күшейткіштерде және басқа да жоғары қуатты электрондық құрылғыларда пайдалануға өте ыңғайлы.
Semicera's компаниясымен жоғары вольтты технологияның болашағын зерттеңіз850В жоғары қуатты GaN-on-Si Epi вафли. Ең озық қолданбаларға арналған бұл өнім электрондық құрылғыларыңыздың максималды тиімділік пен сенімділікпен жұмыс істеуін қамтамасыз етеді. Келесі буын жартылай өткізгіш қажеттіліктері үшін Semicera таңдаңыз.
| Элементтер | Өндіріс | Зерттеу | Манеке |
| Кристалл параметрлері | |||
| Политип | 4H | ||
| Беттік бағдар қатесі | <11-20 >4±0,15° | ||
| Электрлік параметрлер | |||
| Допант | n-типті азот | ||
| Қарсылық | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Механикалық параметрлер | |||
| Диаметрі | 150,0±0,2мм | ||
| Қалыңдығы | 350±25 мкм | ||
| Бастапқы жазық бағдарлау | [1-100]±5° | ||
| Негізгі жалпақ ұзындық | 47,5±1,5мм | ||
| Екінші пәтер | Жоқ | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм(5мм*5мм) | ≤5 мкм(5мм*5мм) | ≤10 мкм(5мм*5мм) |
| Садақ | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Бұрыш | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Алдыңғы (Si-бет) кедір-бұдырлығы (AFM) | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) | ||
| Құрылымы | |||
| Микроқұбырдың тығыздығы | <1 э/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Металл қоспалары | ≤5E10атом/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 е/см2 | ≤3000 е/см2 | NA |
| TSD | ≤500 е/см2 | ≤1000 е/см2 | NA |
| Алдыңғы сапа | |||
| Алдыңғы | Si | ||
| Беткі әрлеу | Si-face CMP | ||
| Бөлшектер | ≤60ea/вафли (өлшемі≥0,3мкм) | NA | |
| сызаттар | ≤5е/мм. Жиынтық ұзындық ≤Диаметр | Жиынтық ұзындық≤2*Диаметр | NA |
| Апельсин қабығы / шұңқырлар / дақтар / жолақтар / жарықтар / ластану | Жоқ | NA | |
| Шеткі чиптер/шегістер/сынулар/алты қырлы тақталар | Жоқ | ||
| Политипті аймақтар | Жоқ | Жиынтық ауданы≤20% | Жиынтық ауданы≤30% |
| Алдыңғы лазерлік таңбалау | Жоқ | ||
| Артқы сапа | |||
| Артқы мәре | C-бет CMP | ||
| сызаттар | ≤5ea/мм,Жиынтық ұзындық≤2*Диаметр | NA | |
| Артқы ақаулар (жиек чиптері/шегіністері) | Жоқ | ||
| Артқы кедір-бұдыр | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) | ||
| Артқы лазерлік таңбалау | 1 мм (жоғарғы шетінен) | ||
| Жиек | |||
| Жиек | Фака | ||
| Қаптама | |||
| Қаптама | Вакуумды орауышпен эпи-дайын Көп вафлилі кассеталық қаптама | ||
| *Ескертпелер: «NA» сұрау жоқ дегенді білдіреді Атылмаған элементтер SEMI-STD-ге сілтеме жасай алады. | |||
