Semicera ұсынған Aixtron G5 үшін 6 дюймдік вафельді тасымалдаушы Aixtron G5 жүйелеріндегі эпитаксиалды өсу процестерінің күрделі талаптарын қанағаттандыруға арналған. Бұл жоғары сапалы графиттен жасалғанвафельді тасымалдаушыкезінде тұрақтылық пен біркелкілікті қамтамасыз етедіCVDжәнеMOCVD процестері, эпи реакторда дәл тұндыру мүмкіндігін береді.
Акремний карбиді керамикажабынымен, Aixtron G5 үшін 6 дюймдік вафельді тасымалдаушы күшейтілген беріктік пен термиялық төзімділікті ұсынады, бұл оны эпитаксиалды өсуде жоғары температуралық қолданбалар үшін өте қолайлы етеді. Бұл өнім тиімділікті қолдау үшін жасалғанвафлиөңдеу және жартылай өткізгіш өндірісіндегі өнімділікті арттыру.
Semicera-да біз жартылай өткізгіш өнеркәсібі үшін жоғары деңгейлі шешімдерді ұсынуға назар аударамыз. Біздің вафельді тасымалдағыштар Aixtron G5 жүйелерінде және т.б. жүйелерде үздіксіз жұмыс істеуді қамтамасыз ететін сенімділік үшін жасалған.CVD эпитаксисіреакторлар. Кремний карбидімен немесе басқа материалдармен жұмыс істеп жатсаңыз да, бұл пластинаны тасымалдаушы жартылай өткізгіштердің жетілдірілген өндірісі үшін қажетті дәлдік пен дәйектілікті қамтамасыз етеді.
Негізгі ерекшеліктері:
• Aixtron G5 жүйелері және басқа CVD MOCVD реакторлары үшін оңтайландырылған.
• Төзімділікті арттыру үшін кремний карбиді керамикалық жабыны бар жоғары сапалы графит қабылдағыш.
• Дәлдік пен термиялық тұрақтылықты қажет ететін эпитаксиалды өсу процестері үшін өте қолайлы.
• Күрделі жартылай өткізгіш орталарда пластинаны сенімді өңдеу.
Semicera компаниясы әрбір 6 дюймдік вафельді тасымалдаушы эпитаксистік қажеттіліктеріңізге ең жоғары стандарттарға сай болуын қамтамасыз ететін озық шешімдерді ұсынуға арналған.
