Semicera 3C-SiC Wafer Substrates келесі буын электр электроникасы мен жоғары жиілікті құрылғылар үшін сенімді платформаны қамтамасыз ету үшін жасалған. Жоғары термиялық қасиеттері мен электрлік сипаттамалары бар бұл субстраттар заманауи технологияның талаптарын қанағаттандыруға арналған.
Semicera вафли субстраттарының 3C-SiC (куб кремний карбиді) құрылымы басқа жартылай өткізгіш материалдармен салыстырғанда жоғары жылу өткізгіштік пен төменірек жылу кеңею коэффициентін қоса алғанда, бірегей артықшылықтарды ұсынады. Бұл оларды төтенше температура мен жоғары қуат жағдайында жұмыс істейтін құрылғылар үшін тамаша таңдау жасайды.
Жоғары электрлік бұзылу кернеуі және жоғары химиялық тұрақтылығы бар Semicera 3C-SiC пластинкалы субстраттары ұзақ жұмыс істейтін өнімділік пен сенімділікті қамтамасыз етеді. Бұл қасиеттер жоғары жиілікті радар, қатты күйдегі жарықтандыру және қуатты инверторлар сияқты қолданбалар үшін өте маңызды, мұнда тиімділік пен беріктік маңызды.
Semicera компаниясының сапаға деген ұмтылысы олардың 3C-SiC пластинкалы субстраттарын мұқият өндіру процесінде көрінеді, бұл әр партияда біркелкі және дәйектілікті қамтамасыз етеді. Бұл дәлдік олардың негізінде жасалған электрондық құрылғылардың жалпы өнімділігі мен ұзақ қызмет ету мерзіміне ықпал етеді.
Semicera 3C-SiC вафли субстраттарын таңдау арқылы өндірушілер кішірек, жылдамырақ және тиімдірек электронды компоненттерді жасауға мүмкіндік беретін озық материалға қол жеткізеді. Semicera жартылай өткізгіштер өнеркәсібінің дамып келе жатқан талаптарына жауап беретін сенімді шешімдерді ұсына отырып, технологиялық инновацияларды қолдауды жалғастыруда.
| Элементтер | Өндіріс | Зерттеу | Манеке |
| Кристалл параметрлері | |||
| Политип | 4H | ||
| Беттік бағдар қатесі | <11-20 >4±0,15° | ||
| Электрлік параметрлер | |||
| Допант | n-типті азот | ||
| Қарсылық | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Механикалық параметрлер | |||
| Диаметрі | 150,0±0,2мм | ||
| Қалыңдығы | 350±25 мкм | ||
| Бастапқы жазық бағдарлау | [1-100]±5° | ||
| Негізгі жалпақ ұзындық | 47,5±1,5мм | ||
| Екінші пәтер | Жоқ | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм(5мм*5мм) | ≤5 мкм(5мм*5мм) | ≤10 мкм(5мм*5мм) |
| Садақ | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Бұрыш | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Алдыңғы (Si-бет) кедір-бұдырлығы (AFM) | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) | ||
| Құрылымы | |||
| Микроқұбырдың тығыздығы | <1 э/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Металл қоспалары | ≤5E10атом/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 е/см2 | ≤3000 е/см2 | NA |
| TSD | ≤500 е/см2 | ≤1000 е/см2 | NA |
| Алдыңғы сапа | |||
| Алдыңғы | Si | ||
| Беткі әрлеу | Si-face CMP | ||
| Бөлшектер | ≤60ea/вафли (өлшемі≥0,3мкм) | NA | |
| сызаттар | ≤5е/мм. Жиынтық ұзындық ≤Диаметр | Жиынтық ұзындық≤2*Диаметр | NA |
| Апельсин қабығы / шұңқырлар / дақтар / жолақтар / жарықтар / ластану | Жоқ | NA | |
| Шеткі чиптер/шегістер/сынулар/алты қырлы тақталар | Жоқ | ||
| Политипті аймақтар | Жоқ | Жиынтық ауданы≤20% | Жиынтық ауданы≤30% |
| Алдыңғы лазерлік таңбалау | Жоқ | ||
| Артқы сапа | |||
| Артқы мәре | C-бет CMP | ||
| сызаттар | ≤5ea/мм,Жиынтық ұзындық≤2*Диаметр | NA | |
| Артқы ақаулар (жиек чиптері/шегіністері) | Жоқ | ||
| Артқы кедір-бұдыр | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) | ||
| Артқы лазерлік таңбалау | 1 мм (жоғарғы шетінен) | ||
| Жиек | |||
| Жиек | Фака | ||
| Қаптама | |||
| Қаптама | Вакуумды орауышпен эпи-дайын Көп вафлилі кассеталық қаптама | ||
| *Ескертпелер: «NA» сұрау жоқ дегенді білдіреді Атылмаған элементтер SEMI-STD-ге сілтеме жасай алады. | |||
