Вафельді ұстайтын қолжартылай өткізгішті өндіру процесінде өңдеу, тасымалдау және орналастыру үшін қолданылатын негізгі жабдық болып табыладывафли. Ол әдетте нақты қозғалыс пен орналасу мүмкіндіктері бар роботты қол, ұстағыш және басқару жүйесінен тұрады.Вафельді ұстайтын қолдаржартылай өткізгіштер өндірісінің әртүрлі буындарында кеңінен қолданылады, соның ішінде пластинаны жүктеу, тазалау, жұқа қабықшаны тұндыру, ою, литография және тексеру сияқты технологиялық қадамдар. Оның дәлдігі, сенімділігі және автоматтандыру мүмкіндіктері өндіріс процесінің сапасын, тиімділігін және жүйелілігін қамтамасыз ету үшін өте маңызды.
Вафельді өңдеу қолының негізгі функцияларына мыналар жатады:
1. Вафельді тасымалдау: Вафельді өңдеу қолы вафельді сақтау сөресінен алу және оларды өңдеу құрылғысына орналастыру сияқты пластиналарды бір орыннан екінші орынға дәл тасымалдай алады.
2. Орналастыру және бағдарлау: пластинаны ұстайтын тұтқа келесі өңдеу немесе өлшеу операциялары үшін дұрыс туралау мен позицияны қамтамасыз ету үшін пластинаны дәл орналастыруға және бағдарлауға қабілетті.
3. Қысу және босату: Вафельді ұстайтын тұтқалар әдетте вафлиді қауіпсіз түрде қысып, оларды қауіпсіз тасымалдауды және өңдеуді қамтамасыз ету үшін қажет болған кезде босатуға болатын ұстағыштармен жабдықталған.
4. Автоматтандырылған басқару: Вафельді өңдеу қолы алдын ала анықталған әрекеттер ретін автоматты түрде орындай алатын, өндіріс тиімділігін арттыра алатын және адам қателерін азайтатын жетілдірілген басқару жүйесімен жабдықталған.
Сипаттамалары мен артықшылықтары
1.Дәл өлшемдер және термиялық тұрақтылық.
2.Жоғары ерекше қаттылық және тамаша термиялық біркелкі, ұзақ мерзімді пайдалану деформация майыстыру оңай емес.
3.Тегіс беті және жақсы тозуға төзімділігі бар, осылайша чипті бөлшектермен ластанбай қауіпсіз өңдейді.
4.Кремний карбидінің кедергісі 106-108Ω, магнитті емес, анти-ESD спецификациясының талаптарына сәйкес; Ол чиптің бетінде статикалық электр тогының жиналуын болдырмайды.
5.Жақсы жылу өткізгіштік, төмен кеңею коэффициенті.
