ЖартылайВафельді кассетанәзік жартылай өткізгіш пластиналарды қауіпсіз ұстауға және тасымалдауға арналған жартылай өткізгіштерді өндіру процесінің маңызды құрамдас бөлігі болып табылады. TheВафельді кассетаөңдеу, сақтау және тасымалдау кезінде әрбір пластинаның ластаушы заттардан және физикалық зақымданудан таза болуын қамтамасыз ететін ерекше қорғанысты қамтамасыз етеді.
Жоғары таза, химиялық төзімді материалдардан жасалған SemiceraВафельді кассетаөндірістің әрбір кезеңінде пластинаның тұтастығын сақтау үшін маңызды тазалық пен ұзақ мерзімділіктің ең жоғары деңгейіне кепілдік береді. Бұл кассеталардың дәл инженериясы ластану мен механикалық зақымдану қаупін барынша азайта отырып, автоматтандырылған өңдеу жүйелерімен үздіксіз біріктіруге мүмкіндік береді.
дизайныВафельді кассетасонымен қатар қоршаған ортаның нақты жағдайларын талап ететін процестер үшін өте маңызды болып табылатын оңтайлы ауа ағыны мен температураны бақылауды қолдайды. Таза бөлмелерде немесе термиялық өңдеу кезінде қолданылғанына қарамастан, SemiceraВафельді кассетаӨндіріс тиімділігі мен өнім сапасын арттыру үшін сенімді және дәйекті өнімділікті қамтамасыз ететін жартылай өткізгіш өнеркәсібінің қатаң талаптарын қанағаттандыру үшін жасалған.
| Элементтер | Өндіріс | Зерттеу | Манеке |
| Кристалл параметрлері | |||
| Политип | 4H | ||
| Беттік бағдар қатесі | <11-20 >4±0,15° | ||
| Электрлік параметрлер | |||
| Допант | n-типті азот | ||
| Қарсылық | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Механикалық параметрлер | |||
| Диаметрі | 150,0±0,2мм | ||
| Қалыңдығы | 350±25 мкм | ||
| Бастапқы жазық бағдарлау | [1-100]±5° | ||
| Негізгі жалпақ ұзындық | 47,5±1,5мм | ||
| Екінші пәтер | Жоқ | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм(5мм*5мм) | ≤5 мкм(5мм*5мм) | ≤10 мкм(5мм*5мм) |
| Садақ | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Бұрыш | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Алдыңғы (Si-бет) кедір-бұдырлығы (AFM) | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) | ||
| Құрылымы | |||
| Микроқұбырдың тығыздығы | <1 э/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Металл қоспалары | ≤5E10атом/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 е/см2 | ≤3000 е/см2 | NA |
| TSD | ≤500 е/см2 | ≤1000 е/см2 | NA |
| Алдыңғы сапа | |||
| Алдыңғы | Si | ||
| Беткі әрлеу | Si-face CMP | ||
| Бөлшектер | ≤60ea/вафли (өлшемі≥0,3мкм) | NA | |
| сызаттар | ≤5е/мм. Жиынтық ұзындық ≤Диаметр | Жиынтық ұзындық≤2*Диаметр | NA |
| Апельсин қабығы / шұңқырлар / дақтар / жолақтар / жарықтар / ластану | Жоқ | NA | |
| Шеткі чиптер/шегістер/сынулар/алты қырлы тақталар | Жоқ | ||
| Политипті аймақтар | Жоқ | Жиынтық ауданы≤20% | Жиынтық ауданы≤30% |
| Алдыңғы лазерлік таңбалау | Жоқ | ||
| Артқы сапа | |||
| Артқы мәре | C-бет CMP | ||
| сызаттар | ≤5ea/мм,Жиынтық ұзындық≤2*Диаметр | NA | |
| Артқы ақаулар (жиек чиптері/шегіністері) | Жоқ | ||
| Артқы кедір-бұдыр | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) | ||
| Артқы лазерлік таңбалау | 1 мм (жоғарғы шетінен) | ||
| Жиек | |||
| Жиек | Фака | ||
| Қаптама | |||
| Қаптама | Вакуумды орауышпен эпи-дайын Көп вафлилі кассеталық қаптама | ||
| *Ескертпелер: «NA» сұрау жоқ дегенді білдіреді Атылмаған элементтер SEMI-STD-ге сілтеме жасай алады. | |||
