Semicera таныстырадыВафельді кассетаны тасымалдаушы, жартылай өткізгіш пластиналарды қауіпсіз және тиімді өңдеуге арналған маңызды шешім. Бұл тасымалдаушы жартылай өткізгіштер өнеркәсібінің қатаң талаптарын қанағаттандыру үшін жасалған, бүкіл өндіріс процесінде пластиналарыңыздың қорғалуын және тұтастығын қамтамасыз етеді.
Негізгі ерекшеліктері:
•Мықты құрылыс:TheВафельді кассетаны тасымалдаушыластанудан және физикалық зақымданудан сенімді қорғанысты қамтамасыз ететін, жартылай өткізгіш орталардың қатаңдығына төтеп беретін жоғары сапалы, берік материалдардан жасалған.
•Нақты туралау:Вафлиді дәл туралау үшін жасалған бұл тасымалдаушы вафлиді орнында қауіпсіз ұстауды қамтамасыз етеді, тасымалдау кезінде туралану немесе зақымдалу қаупін азайтады.
•Оңай өңдеу:Пайдаланудың қарапайымдылығы үшін эргономикалық түрде жасалған тасымалдаушы тиеу және түсіру процесін жеңілдетеді, таза бөлме жағдайында жұмыс үрдісінің тиімділігін арттырады.
•Үйлесімділік:Вафли өлшемдері мен түрлерінің кең ауқымымен үйлесімді, бұл оны әртүрлі жартылай өткізгіштерді өндіру қажеттіліктері үшін әмбебап етеді.
Semicera's көмегімен теңдесі жоқ қорғаныс пен ыңғайлылықты сезініңізВафельді кассетаны тасымалдаушы. Біздің тасымалдаушы жартылай өткізгіштер өндірісінің ең жоғары стандарттарына сай жасалған, бұл сіздің пластиналарыңыздың басынан аяғына дейін таза күйінде сақталуын қамтамасыз етеді. Ең маңызды процестеріңізге қажетті сапа мен сенімділікті қамтамасыз ететін Semicera-ға сеніңіз.
| Элементтер | Өндіріс | Зерттеу | Манеке |
| Кристалл параметрлері | |||
| Политип | 4H | ||
| Беттік бағдар қатесі | <11-20 >4±0,15° | ||
| Электрлік параметрлер | |||
| Допант | n-типті азот | ||
| Қарсылық | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Механикалық параметрлер | |||
| Диаметрі | 150,0±0,2мм | ||
| Қалыңдығы | 350±25 мкм | ||
| Бастапқы жазық бағдарлау | [1-100]±5° | ||
| Негізгі жалпақ ұзындық | 47,5±1,5мм | ||
| Екінші пәтер | Жоқ | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм(5мм*5мм) | ≤5 мкм(5мм*5мм) | ≤10 мкм(5мм*5мм) |
| Садақ | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Бұрыш | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Алдыңғы (Si-бет) кедір-бұдырлығы (AFM) | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) | ||
| Құрылымы | |||
| Микроқұбырдың тығыздығы | <1 э/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Металл қоспалары | ≤5E10атом/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 е/см2 | ≤3000 е/см2 | NA |
| TSD | ≤500 е/см2 | ≤1000 е/см2 | NA |
| Алдыңғы сапа | |||
| Алдыңғы | Si | ||
| Беткі әрлеу | Si-face CMP | ||
| Бөлшектер | ≤60ea/вафли (өлшемі≥0,3мкм) | NA | |
| сызаттар | ≤5е/мм. Жиынтық ұзындық ≤Диаметр | Жиынтық ұзындық≤2*Диаметр | NA |
| Апельсин қабығы / шұңқырлар / дақтар / жолақтар / жарықтар / ластану | Жоқ | NA | |
| Шеткі чиптер/шегістер/сынулар/алты қырлы тақталар | Жоқ | ||
| Политипті аймақтар | Жоқ | Жиынтық ауданы≤20% | Жиынтық ауданы≤30% |
| Алдыңғы лазерлік таңбалау | Жоқ | ||
| Артқы сапа | |||
| Артқы мәре | C-бет CMP | ||
| сызаттар | ≤5ea/мм,Жиынтық ұзындық≤2*Диаметр | NA | |
| Артқы ақаулар (жиек чиптері/шегіністері) | Жоқ | ||
| Артқы кедір-бұдыр | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) | ||
| Артқы лазерлік таңбалау | 1 мм (жоғарғы шетінен) | ||
| Жиек | |||
| Жиек | Фака | ||
| Қаптама | |||
| Қаптама | Вакуумды орауышпен эпи-дайын Көп вафлилі кассеталық қаптама | ||
| *Ескертпелер: «NA» сұрау жоқ дегенді білдіреді Атылмаған элементтер SEMI-STD-ге сілтеме жасай алады. | |||
