Semicera жетекші саланы ұсынадыВафельді тасымалдаушылар, Өндіріс процесінің әртүрлі кезеңдерінде нәзік жартылай өткізгіш пластиналарды жоғары қорғауды және үздіксіз тасымалдауды қамтамасыз ету үшін жасалған. БіздіңВафельді тасымалдаушыларпластиналарыңыздың тұтастығы мен сапасы әрқашан сақталуын қамтамасыз ете отырып, заманауи жартылай өткізгіш өндірісінің қатаң талаптарын қанағаттандыру үшін мұқият әзірленген.
Негізгі ерекшеліктері:
• Жоғары сапалы материалды құрастыру:Төзімділік пен ұзақ мерзімділікке кепілдік беретін жоғары сапалы, ластануға төзімді материалдардан жасалған, бұл оларды таза бөлме орталары үшін өте қолайлы етеді.
•Дәл дизайн:Өңдеу және тасымалдау кезінде пластинаның сырғып кетуін және зақымдануын болдырмайтын ұяшықты дәл туралау және қауіпсіз ұстау механизмдері бар.
•Жан-жақты үйлесімділік:Әр түрлі жартылай өткізгіш қолданбалар үшін икемділікті қамтамасыз ететін вафли өлшемдері мен қалыңдығының кең ауқымын орналастырады.
•Эргономикалық өңдеу:Жеңіл және пайдаланушыға ыңғайлы дизайн оңай тиеу мен түсіруді жеңілдетеді, жұмыс тиімділігін арттырады және өңдеу уақытын қысқартады.
•Реттелетін опциялар:Оңтайландырылған жұмыс үрдісін біріктіру үшін материалды таңдау, өлшемді реттеулер және таңбалауды қоса, арнайы талаптарды қанағаттандыру үшін теңшеуді ұсынады.
Semicera's көмегімен жартылай өткізгішті өндіру процесін жетілдіріңізВафельді тасымалдаушылар, пластиналарды ластанудан және механикалық зақымданудан қорғауға арналған тамаша шешім. Салалық стандарттарға сай ғана емес, сонымен қатар олардан асатын өнімдерді жеткізу үшін біздің сапа мен инновацияға деген ұмтылысымызға сеніңіз, бұл сіздің операцияларыңыздың біркелкі және тиімді жұмыс істеуін қамтамасыз етеді.
| Элементтер | Өндіріс | Зерттеу | Манеке |
| Кристалл параметрлері | |||
| Политип | 4H | ||
| Беттік бағдар қатесі | <11-20 >4±0,15° | ||
| Электрлік параметрлер | |||
| Допант | n-типті азот | ||
| Қарсылық | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Механикалық параметрлер | |||
| Диаметрі | 150,0±0,2мм | ||
| Қалыңдығы | 350±25 мкм | ||
| Бастапқы жазық бағдарлау | [1-100]±5° | ||
| Негізгі жалпақ ұзындық | 47,5±1,5мм | ||
| Екінші пәтер | Жоқ | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм(5мм*5мм) | ≤5 мкм(5мм*5мм) | ≤10 мкм(5мм*5мм) |
| Садақ | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Бұрыш | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Алдыңғы (Si-бет) кедір-бұдырлығы (AFM) | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) | ||
| Құрылымы | |||
| Микроқұбырдың тығыздығы | <1 э/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Металл қоспалары | ≤5E10атом/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 е/см2 | ≤3000 е/см2 | NA |
| TSD | ≤500 е/см2 | ≤1000 е/см2 | NA |
| Алдыңғы сапа | |||
| Алдыңғы | Si | ||
| Беткі әрлеу | Si-face CMP | ||
| Бөлшектер | ≤60ea/вафли (өлшемі≥0,3мкм) | NA | |
| сызаттар | ≤5е/мм. Жиынтық ұзындық ≤Диаметр | Жиынтық ұзындық≤2*Диаметр | NA |
| Апельсин қабығы / шұңқырлар / дақтар / жолақтар / жарықтар / ластану | Жоқ | NA | |
| Шеткі чиптер/шегістер/сынулар/алты қырлы тақталар | Жоқ | ||
| Политипті аймақтар | Жоқ | Жиынтық ауданы≤20% | Жиынтық ауданы≤30% |
| Алдыңғы лазерлік таңбалау | Жоқ | ||
| Артқы сапа | |||
| Артқы мәре | C-бет CMP | ||
| сызаттар | ≤5ea/мм,Жиынтық ұзындық≤2*Диаметр | NA | |
| Артқы ақаулар (жиек чиптері/шегіністері) | Жоқ | ||
| Артқы кедір-бұдыр | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) | ||
| Артқы лазерлік таңбалау | 1 мм (жоғарғы шетінен) | ||
| Жиек | |||
| Жиек | Фака | ||
| Қаптама | |||
| Қаптама | Вакуумды орауышпен эпи-дайын Көп вафлилі кассеталық қаптама | ||
| *Ескертпелер: «NA» сұрау жоқ дегенді білдіреді Атылмаған элементтер SEMI-STD-ге сілтеме жасай алады. | |||
