MEMS өңдеу - байланыстыру: жартылай өткізгіштер өнеркәсібіндегі қолдану және өнімділік, Semicera теңшелген қызметі
Микроэлектроника және жартылай өткізгіш салаларда MEMS (микроэлектромеханикалық жүйелер) технологиясы инновациялар мен өнімділігі жоғары жабдықты қозғайтын негізгі технологиялардың біріне айналды. Ғылым мен технологияның дамуымен MEMS технологиясы сенсорларда, жетектерде, оптикалық құрылғыларда, медициналық жабдықтарда, автомобиль электроникада және басқа салаларда кеңінен қолданылып, бірте-бірте заманауи технологияның ажырамас бөлігіне айналды. Бұл өрістерде MEMS өңдеудегі негізгі қадам ретінде байланыстыру процесі (Байланыстыру) құрылғының өнімділігі мен сенімділігінде маңызды рөл атқарады.
Байланыс - бұл екі немесе одан да көп материалдарды физикалық немесе химиялық жолмен берік біріктіретін технология. Әдетте құрылымдық тұтастық пен функционалды іске асыру үшін әртүрлі материал қабаттарын MEMS құрылғыларында байланыстыру арқылы қосу керек. MEMS құрылғыларын өндіру процесінде байланыстыру тек қосылу процесі ғана емес, сонымен қатар термиялық тұрақтылыққа, механикалық беріктікке, электрлік өнімділікке және құрылғының басқа аспектілеріне тікелей әсер етеді.
Жоғары дәлдіктегі MEMS өңдеуде байланыстыру технологиясы құрылғының өнімділігіне әсер ететін кез келген ақауларды болдырмай, материалдар арасындағы тығыз байланысты қамтамасыз етуі керек. Сондықтан, байланыстыру процесін дәл бақылау және жоғары сапалы байланыстыру материалдары түпкілікті өнімнің салалық стандарттарға сәйкес келуін қамтамасыз ететін негізгі факторлар болып табылады.
Жартылай өткізгіштер өнеркәсібіндегі MEMS байланыстыру қолданбалары
Жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде MEMS технологиясы сенсорлар, акселерометрлер, қысым сенсорлары және гироскоптар сияқты микро құрылғыларды өндіруде кеңінен қолданылады. Шағын, интеграцияланған және интеллектуалды өнімдерге сұраныстың артуымен MEMS құрылғыларының дәлдігі мен өнімділігіне қойылатын талаптар да артып келеді. Бұл қолданбаларда тиімді және тұрақты функцияларға қол жеткізу үшін кремний пластиналары, шыны, металдар және полимерлер сияқты әртүрлі материалдарды қосу үшін байланыстыру технологиясы қолданылады.
1. Қысым сенсорлары және акселерометрлер
Автокөлік, аэроғарыш өнеркәсібі, тұрмыстық электроника және т.б. салаларда MEMS қысым датчиктері мен акселерометрлер өлшеу және басқару жүйелерінде кеңінен қолданылады. Байланыстыру процесі жоғары сезімталдық пен дәлдікті қамтамасыз ету үшін кремний чиптері мен сенсор элементтерін қосу үшін қолданылады. Бұл сенсорлар қоршаған ортаның төтенше жағдайларына төтеп бере алуы керек және жоғары сапалы байланыстыру процестері температураның өзгеруіне байланысты материалдардың ажырауын немесе дұрыс жұмыс істемеуін тиімді болдырмайды.
2. Микро-оптикалық құрылғылар және MEMS оптикалық қосқыштары
Оптикалық байланыс және лазерлік құрылғылар саласында MEMS оптикалық құрылғылары мен оптикалық қосқыштар маңызды рөл атқарады. Байланыс технологиясы кремний негізіндегі MEMS құрылғылары мен оптикалық талшықтар мен айналар сияқты материалдар арасында оптикалық сигнал берудің тиімділігі мен тұрақтылығын қамтамасыз ету үшін дәл байланысқа қол жеткізу үшін қолданылады. Әсіресе жоғары жиілікті, кең өткізу қабілеттілігін және қалааралық берілістерді пайдаланатын қолданбаларда жоғары өнімді байланыстыру технологиясы өте маңызды.
3. MEMS гироскоптары және инерциялық сенсорлар
MEMS гироскоптары мен инерциялық сенсорлар автономды жүргізу, робототехника және аэроғарыш өнеркәсібі сияқты жоғары деңгейлі салаларда дәл навигация және позициялау үшін кеңінен қолданылады. Жоғары дәлдіктегі байланыстыру процестері құрылғылардың сенімділігін қамтамасыз етеді және ұзақ мерзімді жұмыс немесе жоғары жиіліктегі жұмыс кезінде өнімділіктің төмендеуін немесе істен шығуды болдырмайды.
MEMS өңдеудегі байланыстыру технологиясының негізгі өнімділік талаптары
MEMS өңдеуде байланыстыру процесінің сапасы құрылғының өнімділігін, қызмет ету мерзімін және тұрақтылығын тікелей анықтайды. MEMS құрылғыларының әртүрлі қолданбалы сценарийлерде ұзақ уақыт сенімді жұмыс істеуін қамтамасыз ету үшін байланыстыру технологиясы келесі негізгі өнімділікке ие болуы керек:
1. Жоғары термиялық тұрақтылық
Жартылай өткізгіштер өнеркәсібіндегі көптеген қолданбалы орталарда жоғары температура жағдайлары бар, әсіресе автомобильдер, аэроғарыш және т.б. салаларда. Байланыстырушы материалдың термиялық тұрақтылығы өте маңызды және температураның өзгеруіне бұзылмай немесе бұзылмай төтеп бере алады.
2. Тозуға төзімділігі жоғары
MEMS құрылғылары әдетте микро-механикалық құрылымдарды қамтиды және ұзақ мерзімді үйкеліс пен қозғалыс қосылым бөліктерінің тозуына әкелуі мүмкін. Ұзақ мерзімді пайдалану кезінде құрылғының тұрақтылығы мен тиімділігін қамтамасыз ету үшін байланыстырушы материал тамаша тозуға төзімділікке ие болуы керек.
3. Жоғары тазалық
Жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде материалдың тазалығына өте қатаң талаптар қойылады. Кез келген кішкентай ластаушы құрылғының істен шығуына немесе өнімділігінің төмендеуіне әкелуі мүмкін. Сондықтан жұмыс кезінде құрылғыға сыртқы ластану әсер етпеуі үшін байланыстыру процесінде қолданылатын материалдар өте жоғары тазалыққа ие болуы керек.
4. Дәл байланыстыру дәлдігі
MEMS құрылғылары жиі микрон деңгейінде немесе тіпті нанометрлік деңгейде өңдеу дәлдігін талап етеді. Байланыстыру процесі құрылғының қызметі мен өнімділігіне әсер етпеу үшін материалдың әрбір қабатының дәл қондырылуын қамтамасыз етуі керек.
Анодтық байланыс
Анодтық байланыс:
● Кремний пластиналары мен шыны, металл мен шыны, жартылай өткізгіш пен қорытпа, жартылай өткізгіш пен шыны арасындағы байланыстыруға қолданылады
Эвтектоидтық байланыс:
● PbSn, AuSn, CuSn және AuSi сияқты материалдарға қолданылады
Желіммен байланыстыру:
● AZ4620 және SU8 сияқты арнайы байланыстыратын желімдерге жарамды арнайы жабыстырғыш желімді пайдаланыңыз.
● 4 дюймдік және 6 дюймдік өлшемдерге қолданылады
Semicera пайдаланушы байланыс қызметі
MEMS өңдеу шешімдерінің салалық жетекші провайдері ретінде Semicera тұтынушыларға жоғары дәлдіктегі, жоғары тұрақтылықты теңшелген байланыстыру қызметтерін ұсынуға ұмтылады. Біздің байланыстыру технологиямыз кремний, шыны, металл, керамика және т.б. қоса алғанда, жартылай өткізгіштер мен MEMS салаларындағы жоғары деңгейлі қолданбалар үшін инновациялық шешімдерді қамтамасыз ететін әртүрлі материалдарды қосуда кеңінен қолданылуы мүмкін.
Semicera-ның озық өндірістік жабдықтары мен техникалық топтары бар және тұтынушылардың нақты қажеттіліктеріне сәйкес бейімделген байланыстыру шешімдерін ұсына алады. Жоғары температура мен жоғары қысымды ортада сенімді қосылым болсын, немесе дәл микро-құрылғы байланысы болсын, Semicera әр өнімнің ең жоғары сапа стандарттарына сай болуын қамтамасыз ету үшін әртүрлі күрделі технологиялық талаптарға жауап бере алады.
Біздің тапсырыс бойынша байланыстыру қызметіміз кәдімгі байланыстыру процестерімен шектелмейді, сонымен қатар әртүрлі материалдарға, құрылымдарға және қолдану талаптарына кәсіби техникалық қолдау көрсете алатын металды байланыстыру, термиялық сығымдау, желімдік байланыстыру және басқа процестерді қамтиды. Сонымен қатар, Semicera тұтынушылардың әрбір техникалық талаптарын дәл орындау үшін прототипті әзірлеуден жаппай өндіріске дейін тұтынушыларға толық қызмет көрсете алады.
