Semicera әртүрлі компоненттер мен тасымалдаушылар үшін арнайы тантал карбиді (TaC) жабындарын ұсынады.Semicera жетекші жабын процесі тантал карбиді (TaC) жабындарына жоғары тазалыққа, жоғары температура тұрақтылығына және жоғары химиялық төзімділікке қол жеткізуге, SIC/GAN кристалдары мен EPI қабаттарының өнім сапасын жақсартуға мүмкіндік береді (Графитпен қапталған TaC сенсоры) және реактордың негізгі компоненттерінің қызмет ету мерзімін ұзарту. Тантал карбидінің TaC жабынын пайдалану жиек мәселесін шешу және кристалдардың өсу сапасын жақсарту болып табылады, ал Semicera халықаралық озық деңгейге жетіп, тантал карбиді жабу технологиясын (CVD) шешті.
Тантал карбиді тозуға төзімді жабын сақиналары механикалық тығыздағыштар, сорғы жүйелері, клапандар, мойынтіректер және кескіш құралдар сияқты әртүрлі жоғары үйкеліс және жоғары тозуға сценарийлерде кеңінен қолданылады. Олар тозудан сенімді қорғанысты қамтамасыз етеді, бөлшектердің тозуын және зақымдануын азайтады, жабдықтың сенімділігі мен қызмет ету мерзімін арттырады.
Тантал карбидінің тозуға төзімді жабын сақиналарының сипаттамалары келесідей:
1. Тозуға төзімділік: Тантал карбиді жабыны өте жоғары қаттылық пен тозуға төзімділікке ие, үйкеліс пен тозуға тиімді қарсы тұра алады және жабын сақинасының қызмет ету мерзімін ұзартады.
2. Төмен үйкеліс коэффициенті: Тантал карбиді жабыны үйкеліс коэффициенті төмен, жабын мен басқа материалдар арасындағы үйкеліс жоғалуын және энергия шығынын азайтады.
3. Коррозияға төзімділік: Тантал карбиді жабыны әртүрлі химиялық заттар мен еріткіштердің эрозиясына төтеп бере алады, тамаша коррозияға төзімділікке ие және коррозиялық орталарда қолдануға жарамды.
4. Жоғары температура тұрақтылығы: Тантал карбиді жабыны жоғары температуралық ортада құрылымдық тұрақтылықты және жақсы тозуға төзімділікті сақтай алады және жоғары температуралық процестер мен қолданбаларға жарамды.
TaC бар және онсыз
TaC пайдаланғаннан кейін (оң жақта)
Оның үстіне, Semicera'sTaC жабыны бар өнімдерсалыстырғанда ұзағырақ қызмет ету мерзімін және жоғары температураға төзімділігін көрсетедіSiC жабындары.Зертханалық өлшеулер көрсеткендей, біздіңTaC жабындарыұзақ уақыт бойы 2300 градус Цельсийге дейінгі температурада тұрақты жұмыс істей алады. Төменде біздің үлгілеріміздің кейбір мысалдары берілген:
