Тантал карбидімен қапталған сенсорлы тірек тақтасыжұқа қабатымен жабылған сусептор немесе тірек құрылымы болып табыладытантал карбиді. Бұл жабынды сусептордың бетінде физикалық бу тұндыру (PVD) немесе химиялық бу тұндыру (CVD) сияқты әдістер арқылы жасалуы мүмкін, бұл суссепторға жоғары сапалы қасиеттерді береді.тантал карбиді.
Semicera әртүрлі компоненттер мен тасымалдаушылар үшін арнайы тантал карбиді (TaC) жабындарын ұсынады.Semicera жетекші жабын процесі тантал карбиді (TaC) жабындарына жоғары тазалыққа, жоғары температура тұрақтылығына және жоғары химиялық төзімділікке қол жеткізуге, SIC/GAN кристалдары мен EPI қабаттарының өнім сапасын жақсартуға мүмкіндік береді (Графитпен қапталған TaC сенсоры) және реактордың негізгі компоненттерінің қызмет ету мерзімін ұзарту. Тантал карбидінің TaC жабынын пайдалану жиек мәселесін шешу және кристалдардың өсу сапасын жақсарту болып табылады, ал Semicera халықаралық озық деңгейге жетіп, тантал карбиді жабу технологиясын (CVD) шешті.
Жылдар бойы дамығаннан кейін Semicera технологиясын жеңдіCVD TaCҒЗТКЖ бөлімінің бірлескен күшімен. SiC пластинкаларының өсу процесінде ақаулар оңай пайда болады, бірақ қолданғаннан кейінTaC, айырмашылық айтарлықтай. Төменде TaC бар және жоқ пластиналарды, сондай-ақ монокристалды өсіруге арналған Simicera бөліктерін салыстыру берілген.
Тантал карбидімен қапталған тірек тақталарының негізгі ерекшеліктеріне мыналар жатады:
1. Жоғары температура тұрақтылығы: Тантал карбиді тамаша жоғары температура тұрақтылығына ие, бұл қапталған негізді тіреу тақтасын жоғары температуралы жұмыс орталарында қолдау қажеттіліктеріне жарамды етеді.
2. Коррозияға төзімділік: Тантал карбиді жабыны жақсы коррозияға төзімділікке ие, химиялық коррозияға және тотығуға қарсы тұра алады және негіздің қызмет ету мерзімін ұзартады.
3. Жоғары қаттылық пен тозуға төзімділік: Тантал карбиді жабынының жоғары қаттылығы негізгі тіреуіш тақтайшаға жақсы тозуға төзімділік береді, ол жоғары тозуға төзімділікті қажет ететін жағдайларға жарамды.
4. Химиялық тұрақтылық: Тантал карбиді әртүрлі химиялық заттарға жоғары тұрақтылыққа ие, бұл қапталған негізді тірек тақтайшасын кейбір коррозиялық ортада жақсы орындауға мүмкіндік береді.
TaC бар және онсыз
TaC пайдаланғаннан кейін (оң жақта)
Оның үстіне, Semicera'sTaC жабыны бар өнімдерсалыстырғанда ұзағырақ қызмет ету мерзімін және жоғары температураға төзімділігін көрсетедіSiC жабындары.Зертханалық өлшеулер көрсеткендей, біздіңTaC жабындарыұзақ уақыт бойы 2300 градус Цельсийге дейінгі температурада тұрақты жұмыс істей алады. Төменде біздің үлгілеріміздің кейбір мысалдары берілген:
