Тантал карбидімен қапталған графит парағыжұқа қабаты бар графит материалы болып табыладытантал карбидісубстрат бетінде. Тантал карбидінің жұқа қабаты әдетте графит субстратының бетінде физикалық бу тұндыру (PVD) немесе химиялық бу тұндыру (CVD) сияқты әдістермен қалыптасады. Бұл жабын жоғары қаттылық, тамаша тозуға төзімділік, коррозияға төзімділік және жоғары температура тұрақтылығы сияқты тамаша қасиеттерге ие.
Semicera әртүрлі компоненттер мен тасымалдаушылар үшін арнайы тантал карбиді (TaC) жабындарын ұсынады.Semicera жетекші жабын процесі тантал карбиді (TaC) жабындарына жоғары тазалыққа, жоғары температура тұрақтылығына және жоғары химиялық төзімділікке қол жеткізуге, SIC/GAN кристалдары мен EPI қабаттарының өнім сапасын жақсартуға мүмкіндік береді (Графитпен қапталған TaC сенсоры) және реактордың негізгі компоненттерінің қызмет ету мерзімін ұзарту. Тантал карбидінің TaC жабынын пайдалану жиек мәселесін шешу және кристалдардың өсу сапасын жақсарту болып табылады, ал Semicera халықаралық озық деңгейге жетіп, тантал карбиді жабу технологиясын (CVD) шешті.
Жылдар бойы дамығаннан кейін Semicera технологиясын жеңдіCVD TaCҒЗТКЖ бөлімінің бірлескен күшімен. SiC пластинкаларының өсу процесінде ақаулар оңай пайда болады, бірақ қолданғаннан кейінTaC, айырмашылық айтарлықтай. Төменде TaC бар және жоқ пластиналарды, сондай-ақ монокристалды өсіруге арналған Simicera бөліктерін салыстыру берілген.
Тантал карбидімен қапталған графит парағының негізгі артықшылықтары:
1. Жоғары температураға төзімділік: Тантал карбиді жоғары балқу температурасына және тамаша жоғары температура тұрақтылығына ие, бұл қапталған графит парағын жоғары температуралы ортада қолдануға жарамды етеді.
2. Коррозияға төзімділік: Тантал карбиді жабыны көптеген химиялық коррозиялық заттардың эрозиясына қарсы тұра алады және материалдың қызмет ету мерзімін ұзартады.
3. Жоғары қаттылық: Тантал карбидінің жұқа қабатының жоғары қаттылығы жақсы тозуға төзімділікті қамтамасыз етеді және жоғары тозуға төзімділікті қажет ететін қолданбаларға жарамды.
4. Химиялық тұрақтылық: Тантал карбиді жабыны химиялық коррозияға тамаша тұрақтылыққа ие және кейбір коррозиялық орталарда қолдануға жарамды.
TaC бар және онсыз
TaC пайдаланғаннан кейін (оң жақта)
Оның үстіне, Semicera'sTaC жабыны бар өнімдерсалыстырғанда ұзағырақ қызмет ету мерзімін және жоғары температураға төзімділігін көрсетедіSiC жабындары.Зертханалық өлшеулер көрсеткендей, біздіңTaC жабындарыұзақ уақыт бойы 2300 градус Цельсийге дейінгі температурада тұрақты жұмыс істей алады. Төменде біздің үлгілеріміздің кейбір мысалдары берілген:
