ЖартылайTaC жабатын патрон, соңғы үлгідегі вакуумдық патронмен жабдықталғанTaC жабындары, жартылай өткізгіш пештер үшін арнайы әзірленген. Заманауи жартылай өткізгіштерді өндіру процестерінің қатаң талаптарын қанағаттандыру үшін әзірленген бұл инновациялық технология дәлдік, сенімділік және ұзақ қызмет етудің жаңа стандартын белгілейді.
Жартылай өткізгішті өндірудің негізінде өңдеу кезінде нақты бақылау мен тұрақтылықтың маңызды қажеттілігі жатыр. TaC қаптамасының патроны осы қажеттілікті жетілдірілген біріктіру арқылы шешедіTaC (тантал карбиді) жабындарыоның бетіне ерекше термиялық тұрақтылықты, беріктікті және химиялық коррозияға төзімділікті қамтамасыз етеді. Материалдардың бұл бірегей комбинациясы патронның өнімділігін арттырып қана қоймайды, сонымен қатар оның қызмет ету мерзімін ұзартады, сансыз циклдар бойынша дәйекті нәтижелер береді.
TaC қаптамасының негізгі артықшылықтарының бірі оның бүкіл өңдеу циклі бойына вакуумдық тұтастықтың жоғары деңгейін сақтау мүмкіндігі болып табылады. Газдың шығуын және ластануын тиімді азайту арқылы бұл технология жартылай өткізгіш материалдардың тазалығы мен сапасын қамтамасыз етеді, нәтижесінде құрылғының өнімділігі мен сенімділігі жоғары болады.
Сонымен қатар, TaC қаптамасы әртүрлі өлшемдері мен геометриялары бар жартылай өткізгіш субстраттардың кең ауқымын орналастыра отырып, теңдесі жоқ әмбебаптылықты ұсынады. TaC қаптамасының патронының теңшелетін дизайны жұмыс істеп тұрған жартылай өткізгіш пеш жүйелеріне үздіксіз біріктіруге, тоқтау уақытын азайтуға және өнімділікті арттыруға мүмкіндік береді.
TaC Coating Chuck көмегімен жартылай өткізгіш өндірушілер жоғары өткізу қабілетіне, жақсартылған кірістілікке және жалпы шығындарды азайтуға қол жеткізе алады. Ғылыми-зерттеу зертханаларында немесе жоғары көлемді өндіріс орындарында болсын, бұл озық технология жартылай өткізгіш мамандарға қатаң сапа стандарттарын сақтай отырып, инновацияның шекарасын көтеруге мүмкіндік береді.
TaC бар және онсыз
TaC пайдаланғаннан кейін (оң жақта)
Оның үстіне, Semicera'sTaC жабыны бар өнімдерсалыстырғанда ұзағырақ қызмет ету мерзімін және жоғары температураға төзімділігін көрсетедіSiC жабындары.Зертханалық өлшеулер көрсеткендей, біздіңTaC жабындарыұзақ уақыт бойы 2300 градус Цельсийге дейінгі температурада тұрақты жұмыс істей алады. Төменде біздің үлгілеріміздің кейбір мысалдары берілген: