Semicera әртүрлі компоненттер мен тасымалдаушылар үшін арнайы тантал карбиді (TaC) жабындарын ұсынады.Semicera жетекші жабын процесі тантал карбиді (TaC) жабындарына жоғары тазалыққа, жоғары температура тұрақтылығына және жоғары химиялық төзімділікке қол жеткізуге, SIC/GAN кристалдары мен EPI қабаттарының өнім сапасын жақсартуға мүмкіндік береді (Графитпен қапталған TaC сенсоры) және реактордың негізгі компоненттерінің қызмет ету мерзімін ұзарту. Тантал карбидінің TaC жабынын пайдалану жиек мәселесін шешу және кристалдардың өсу сапасын жақсарту болып табылады, ал Semicera халықаралық озық деңгейге жетіп, тантал карбиді жабу технологиясын (CVD) шешті.
Тантал карбидімен қапталған пластинаны тасымалдаушылар пластинаны өңдеу және жартылай өткізгіштерді өндіру процестерінде өңдеу процестерінде кеңінен қолданылады. Олар өндіріс процесінде пластинаның қауіпсіздігін, дәлдігін және дәйектілігін қамтамасыз ету үшін тұрақты қолдау мен қорғауды қамтамасыз етеді. Тантал карбиді жабындары тасымалдаушының қызмет ету мерзімін ұзарта алады, шығындарды азайтады, жартылай өткізгіш өнімдердің сапасы мен сенімділігін арттырады.
Тантал карбидімен қапталған пластинаның сипаттамасы келесідей:
1. Материалды таңдау: Тантал карбиді - тамаша өнімділік, жоғары қаттылық, жоғары балқу температурасы, коррозияға төзімділік және тамаша механикалық қасиеттері бар материал, сондықтан ол жартылай өткізгіштерді өндіру процесінде кеңінен қолданылады.
2. Беттік жабын: тантал карбиді жабыны біркелкі және тығыз тантал карбиді жабынын қалыптастыру үшін арнайы жабын процесі арқылы вафли тасымалдаушысының бетіне қолданылады. Бұл жабын жақсы жылу өткізгіштікке ие бола отырып, қосымша қорғаныс пен тозуға төзімділікті қамтамасыз ете алады.
3. Тегістік және дәлдік: Тантал карбидімен қапталған вафлиді тасымалдаушы өндіріс процесінде пластинаның тұрақтылығы мен дәлдігін қамтамасыз ететін тегістік пен дәлдіктің жоғары дәрежесіне ие. Тасымалдаушы бетінің тегістігі мен әрлеуі пластинаның сапасы мен өнімділігін қамтамасыз ету үшін өте маңызды.
4. Температураның тұрақтылығы: Тантал карбидімен қапталған вафельді тасымалдаушылар деформациясыз немесе қопсытусыз жоғары температуралық ортада тұрақтылықты сақтай алады, жоғары температура процестерінде вафлилердің тұрақтылығы мен консистенциясын қамтамасыз етеді.
5. Коррозияға төзімділік: Тантал карбиді жабындары тамаша коррозияға төзімділікке ие, химиялық заттар мен еріткіштердің эрозиясына төтеп бере алады және тасымалдаушыны сұйық және газ коррозиясынан қорғайды.
TaC бар және онсыз
TaC пайдаланғаннан кейін (оң жақта)
Оның үстіне, Semicera'sTaC жабыны бар өнімдерсалыстырғанда ұзағырақ қызмет ету мерзімін және жоғары температураға төзімділігін көрсетедіSiC жабындары.Зертханалық өлшеулер көрсеткендей, біздіңTaC жабындарыұзақ уақыт бойы 2300 градус Цельсийге дейінгі температурада тұрақты жұмыс істей алады. Төменде біздің үлгілеріміздің кейбір мысалдары берілген:
