TaC қапталған пластина - SiC эпитаксиалды процестерінде пайдалануға арналған, жоғары сапалы графит материалынан дәлдікпен жасалған арнайы диск. Оның беті тантал карбидімен (TaC) мұқият қапталған, бұл қосылыс өзінің ерекше тазалығымен және беріктігімен танымал. TaC жабыны пластинаның беріктігі мен жоғары температураға төзімділігін арттырады, бұл оны SiC эпитаксиалды процестерінің қиын жағдайлары үшін өте қолайлы етеді.
Бұл инновациялық TaC қапталған пластина - жоғары сапалы графит материалынан дәлдікпен жасалған, SiC эпитаксиалды процестерінде пайдалануға арналған арнайы диск. TaC қапталған тақтайшаның беті тантал карбидімен (TaC) мұқият қапталған, бұл оның ерекше тазалығы мен беріктігімен танымал. SiC эпитаксиалды өсуінің әртүрлі кезеңдерінде пластиналарды тасымалдау үшін сенімді платформа ретінде қызмет етеді. Оның жоғары таза графит негізі тұрақты және инертті бетті қамтамасыз етеді, ал TaC жабыны химиялық реакциялар мен тозудан қосымша қорғаныс қабатын қосады.
ЖартылайдәуірTaC қапталған пластина тұтынушылардың нақты талаптарына сәйкес реттеледі, бұл олардың SiC эпитаксиалды жүйелерімен оңтайлы өнімділік пен үйлесімділікті қамтамасыз етеді. Өлшемі, пішіні немесе басқа сипаттамалары болсын, бұл тақтайшалар әрбір қолданбаның бірегей қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін бейімделген.
TaC бар және онсыз
TaC пайдаланғаннан кейін (оң жақта)
Оның үстіне, Semicera'sTaC жабыны бар өнімдерсалыстырғанда ұзағырақ қызмет ету мерзімін және жоғары температураға төзімділігін көрсетедіSiC жабындары.Зертханалық өлшеулер көрсеткендей, біздіңTaC жабындарыұзақ уақыт бойы 2300 градус Цельсийге дейінгі температурада тұрақты жұмыс істей алады. Төменде біздің үлгілеріміздің кейбір мысалдары берілген:
