TaC жабыныәдетте металл органикалық химиялық буларды тұндыру (MOCVD) технологиясы бойынша графит негізінде дайындалатын маңызды материал жабыны болып табылады. Бұл жабын жоғары қаттылық, тамаша тозуға төзімділік, жоғары температураға төзімділік және химиялық тұрақтылық сияқты тамаша қасиеттерге ие және әртүрлі жоғары сұранысқа ие инженерлік қолданбаларға жарамды.
MOCVD технологиясы – металл органикалық прекурсорларды жоғары температурада реактивті газдармен әрекеттестіру арқылы субстрат бетіне қажетті құрама пленканы тұндыратын, жиі қолданылатын жұқа қабықшаны өсіру технологиясы. Дайындық кезіндеTaC жабыны, сәйкес металл органикалық прекурсорлар мен көміртек көздерін таңдап, реакция жағдайларын және тұндыру параметрлерін бақылай отырып, графит негізіне біркелкі және тығыз TaC қабықшасын қоюға болады.
Semicera әртүрлі компоненттер мен тасымалдаушылар үшін арнайы тантал карбиді (TaC) жабындарын ұсынады.Semicera жетекші жабын процесі тантал карбиді (TaC) жабындарына жоғары тазалыққа, жоғары температура тұрақтылығына және жоғары химиялық төзімділікке қол жеткізуге, SIC/GAN кристалдары мен EPI қабаттарының өнім сапасын жақсартуға мүмкіндік береді (Графитпен қапталған TaC сенсоры) және реактордың негізгі компоненттерінің қызмет ету мерзімін ұзарту. Тантал карбидінің TaC жабынын пайдалану жиек мәселесін шешу және кристалдардың өсу сапасын жақсарту болып табылады, ал Semicera халықаралық озық деңгейге жетіп, тантал карбиді жабу технологиясын (CVD) шешті.
Жылдар бойы дамығаннан кейін Semicera технологиясын жеңдіCVD TaCҒЗТКЖ бөлімінің бірлескен күшімен. SiC пластинкаларының өсу процесінде ақаулар оңай пайда болады, бірақ қолданғаннан кейінTaC, айырмашылық айтарлықтай. Төменде TaC бар және жоқ пластиналарды, сондай-ақ монокристалды өсіруге арналған Simicera бөліктерін салыстыру берілген.
TaC бар және онсыз
TaC пайдаланғаннан кейін (оң жақта)
Оның үстіне, Semicera'sTaC жабыны бар өнімдерсалыстырғанда ұзағырақ қызмет ету мерзімін және жоғары температураға төзімділігін көрсетедіSiC жабындары.Зертханалық өлшеулер көрсеткендей, біздіңTaC жабындарыұзақ уақыт бойы 2300 градус Цельсийге дейінгі температурада тұрақты жұмыс істей алады. Төменде біздің үлгілеріміздің кейбір мысалдары берілген:
