TaC қапталған графит бағыттаушы сақиналар-ның жұқа қабатының шөгуіне сілтеме жасайдытантал карбидіоның тозуға төзімділігін, жоғары температураға төзімділігін және химиялық тұрақтылығын жақсарту үшін графит бағыттаушы сақинаның бетінде. Бұл жабын әдетте графит бағыттаушы сақинаның бетінде физикалық бу тұндыру (PVD) немесе химиялық бу тұндыру (CVD) сияқты әдістермен жасалады.
Semicera әртүрлі компоненттер мен тасымалдаушылар үшін арнайы тантал карбиді (TaC) жабындарын ұсынады.Semicera жетекші жабын процесі тантал карбиді (TaC) жабындарына жоғары тазалыққа, жоғары температура тұрақтылығына және жоғары химиялық төзімділікке қол жеткізуге, SIC/GAN кристалдары мен EPI қабаттарының өнім сапасын жақсартуға мүмкіндік береді (Графитпен қапталған TaC сенсоры) және реактордың негізгі компоненттерінің қызмет ету мерзімін ұзарту. Тантал карбидінің TaC жабынын пайдалану жиек мәселесін шешу және кристалдардың өсу сапасын жақсарту болып табылады, ал Semicera халықаралық озық деңгейге жетіп, тантал карбиді жабу технологиясын (CVD) шешті.
Жылдар бойы дамығаннан кейін Semicera технологиясын жеңдіCVD TaCҒЗТКЖ бөлімінің бірлескен күшімен. SiC пластинкаларының өсу процесінде ақаулар оңай пайда болады, бірақ қолданғаннан кейінTaC, айырмашылық айтарлықтай. Төменде TaC бар және жоқ пластиналарды, сондай-ақ монокристалды өсіруге арналған Simicera бөліктерін салыстыру берілген.
TaC қапталған графит бағыттаушы сақиналарының негізгі ерекшеліктеріне мыналар жатады:
1. Жоғары температураға төзімділік: TaC жабыны тамаша жоғары температура тұрақтылығына ие және жоғары температуралық ортада тұрақтылықты сақтай алады.
2. Тозуға төзімділік: Тантал карбидінің жұқа қабатының жоғары қаттылығы бағыттаушы сақинаға жақсы тозуға төзімділік береді және оның қызмет ету мерзімін ұзартады.
3. Химиялық тұрақтылық: TaC жабыны химиялық коррозияға қарсы жоғары тұрақтылыққа ие, бұл оны кейбір коррозиялық орталарда қолдануға жарамды етеді.
4. Үйкелісті азайтыңыз: TaC жабыны графит бағыттаушы сақина мен басқа компоненттер арасындағы үйкелісті тиімді азайтады және механикалық тығыздағыштардың тиімділігін арттырады.
TaC бар және онсыз
TaC пайдаланғаннан кейін (оң жақта)
Оның үстіне, Semicera'sTaC жабыны бар өнімдерсалыстырғанда ұзағырақ қызмет ету мерзімін және жоғары температураға төзімділігін көрсетедіSiC жабындары.Зертханалық өлшеулер көрсеткендей, біздіңTaC жабындарыұзақ уақыт бойы 2300 градус Цельсийге дейінгі температурада тұрақты жұмыс істей алады. Төменде біздің үлгілеріміздің кейбір мысалдары берілген:
