Semicera әртүрлі компоненттер мен тасымалдаушылар үшін арнайы тантал карбиді (TaC) жабындарын ұсынады.Semicera жетекші жабын процесі тантал карбиді (TaC) жабындарына жоғары тазалыққа, жоғары температура тұрақтылығына және жоғары химиялық төзімділікке қол жеткізуге, SIC/GAN кристалдары мен EPI қабаттарының өнім сапасын жақсартуға мүмкіндік береді (Графитпен қапталған TaC сенсоры) және реактордың негізгі компоненттерінің қызмет ету мерзімін ұзарту.Тантал карбидінің TaC жабынын пайдалану жиек мәселесін шешу және кристалдардың өсу сапасын жақсарту болып табылады, ал Semicera халықаралық озық деңгейге жетіп, тантал карбиді жабу технологиясын (CVD) шешті.
Кремний карбиді (SiC) жартылай өткізгіштердің үшінші буынындағы негізгі материал болып табылады, бірақ оның кірістілік жылдамдығы саланың өсуі үшін шектеуші фактор болды.Semicera зертханаларында кең ауқымды сынақтан кейін, шашыратылған және агломерленген TaC қажетті тазалық пен біркелкіліктің жоқтығы анықталды.Керісінше, CVD процесі 5 PPM тазалық деңгейін және тамаша біркелкілікті қамтамасыз етеді.CVD TaC қолдану кремний карбид пластинкаларының шығымдылығын айтарлықтай жақсартады.Біз талқылауларды құптаймызTaC қапталған графит үш сегментті сақиналар SiC пластинкаларының құнын одан әрі азайту үшін.
Жылдар бойы дамығаннан кейін Semicera технологиясын жеңдіCVD TaCҒЗТКЖ бөлімінің бірлескен күшімен.SiC пластинкаларының өсу процесінде ақаулар оңай пайда болады, бірақ қолданғаннан кейінTaC, айырмашылық айтарлықтай.Төменде TaC бар және жоқ пластиналарды, сондай-ақ монокристалды өсіруге арналған Simicera бөліктерін салыстыру берілген.
TaC бар және онсыз
TaC пайдаланғаннан кейін (оң жақта)
Оның үстіне, Semicera'sTaC жабыны бар өнімдерсалыстырғанда ұзағырақ қызмет ету мерзімін және жоғары температураға төзімділігін көрсетедіSiC жабындары.Зертханалық өлшеулер көрсеткендей, біздіңTaC жабындарыұзақ уақыт бойы 2300 градус Цельсийге дейінгі температурада тұрақты жұмыс істей алады.Төменде біздің үлгілеріміздің кейбір мысалдары берілген:
