TaC қапталған эпитаксиалды пластиналарәдетте өнімділігі жоғары оптоэлектрондық құрылғыларды, қуатты құрылғыларды, сенсорларды және басқа өрістерді дайындауда қолданылады. Бұлэпитаксиалды пластинаны тасымалдаушытұндырылуына сілтеме жасайдыTaCКейіннен құрылғыны дайындау үшін арнайы құрылымы мен өнімділігі бар вафлиді қалыптастыру үшін кристалды өсіру процесі кезінде субстратқа жұқа қабық.
Дайындау үшін әдетте химиялық буларды тұндыру (CVD) технологиясы қолданыладыTaC қапталған эпитаксиалды пластиналар. Металл органикалық прекурсорлар мен көміртегі көзінің газдарын жоғары температурада әрекеттесе отырып, кристалдық субстраттың бетінде TaC пленкасы тұндырылуы мүмкін. Бұл пленка тамаша электрлік, оптикалық және механикалық қасиеттерге ие болуы мүмкін және әртүрлі жоғары өнімді құрылғыларды дайындауға жарамды.
Semicera әртүрлі компоненттер мен тасымалдаушылар үшін арнайы тантал карбиді (TaC) жабындарын ұсынады.Semicera жетекші жабын процесі тантал карбиді (TaC) жабындарына жоғары тазалыққа, жоғары температура тұрақтылығына және жоғары химиялық төзімділікке қол жеткізуге, SIC/GAN кристалдары мен EPI қабаттарының өнім сапасын жақсартуға мүмкіндік береді (Графитпен қапталған TaC сенсоры) және реактордың негізгі компоненттерінің қызмет ету мерзімін ұзарту. Тантал карбидінің TaC жабынын пайдалану жиек мәселесін шешу және кристалдардың өсу сапасын жақсарту болып табылады, ал Semicera халықаралық озық деңгейге жетіп, тантал карбиді жабу технологиясын (CVD) шешті.
Жылдар бойы дамығаннан кейін Semicera технологиясын жеңдіCVD TaCҒЗТКЖ бөлімінің бірлескен күшімен. SiC пластинкаларының өсу процесінде ақаулар оңай пайда болады, бірақ қолданғаннан кейінTaC, айырмашылық айтарлықтай. Төменде TaC бар және жоқ пластиналарды, сондай-ақ монокристалды өсіруге арналған Simicera бөліктерін салыстыру берілген.
TaC бар және онсыз
TaC пайдаланғаннан кейін (оң жақта)
Оның үстіне, Semicera'sTaC жабыны бар өнімдерсалыстырғанда ұзағырақ қызмет ету мерзімін және жоғары температураға төзімділігін көрсетедіSiC жабындары.Зертханалық өлшеулер көрсеткендей, біздіңTaC жабындарыұзақ уақыт бойы 2300 градус Цельсийге дейінгі температурада тұрақты жұмыс істей алады. Төменде біздің үлгілеріміздің кейбір мысалдары берілген:
