TaC қапталғантерең ультракүлгін жарықдиодты графит негізі құрылғының өнімділігі мен тұрақтылығын сақтау арқылы жақсарту процесін білдіреді.TaC жабынытерең ультракүлгін жарықдиодты құрылғыны дайындау кезінде графит негізде. Бұл жабын құрылғының жылуды тарату өнімділігін, жоғары температураға төзімділігін және тотығуға төзімділігін жақсарта алады, осылайша LED құрылғысының тиімділігі мен сенімділігін арттырады. Терең ультракүлгін жарықдиодты құрылғылар әдетте құрылғының тұрақтылығы мен өнімділігіне жоғары талаптар қоятын дезинфекция, жарықпен емдеу және т.б. сияқты кейбір арнайы салаларда қолданылады. қолданбасыTaC қапталған графитнегіз терең ультракүлгін жарықдиодты технологиясын дамытуға маңызды қолдау көрсете отырып, құрылғының беріктігі мен өнімділігін тиімді түрде арттыра алады.
Semicera әртүрлі компоненттер мен тасымалдаушылар үшін арнайы тантал карбиді (TaC) жабындарын ұсынады.Semicera жетекші жабын процесі тантал карбиді (TaC) жабындарына жоғары тазалыққа, жоғары температура тұрақтылығына және жоғары химиялық төзімділікке қол жеткізуге, SIC/GAN кристалдары мен EPI қабаттарының өнім сапасын жақсартуға мүмкіндік береді (Графитпен қапталған TaC сенсоры) және реактордың негізгі компоненттерінің қызмет ету мерзімін ұзарту. Тантал карбидінің TaC жабынын пайдалану жиек мәселесін шешу және кристалдардың өсу сапасын жақсарту болып табылады, ал Semicera халықаралық озық деңгейге жетіп, тантал карбиді жабу технологиясын (CVD) шешті.
Жылдар бойы дамығаннан кейін Semicera технологиясын жеңдіCVD TaCҒЗТКЖ бөлімінің бірлескен күшімен. SiC пластинкаларының өсу процесінде ақаулар оңай пайда болады, бірақ қолданғаннан кейінTaC, айырмашылық айтарлықтай. Төменде TaC бар және жоқ пластиналарды, сондай-ақ монокристалды өсіруге арналған Simicera бөліктерін салыстыру берілген.
TaC бар және онсыз
TaC пайдаланғаннан кейін (оң жақта)
Оның үстіне, Semicera'sTaC жабыны бар өнімдерсалыстырғанда ұзағырақ қызмет ету мерзімін және жоғары температураға төзімділігін көрсетедіSiC жабындары.Зертханалық өлшеулер көрсеткендей, біздіңTaC жабындарыұзақ уақыт бойы 2300 градус Цельсийге дейінгі температурада тұрақты жұмыс істей алады. Төменде біздің үлгілеріміздің кейбір мысалдары берілген:
