Кремний пластинаның термиялық оксидті қабаты кремний пластинаның жалаңаш бетінде тотықтырғыш затпен жоғары температура жағдайында түзілетін оксидті қабат немесе кремний тотығы қабаты болып табылады.Кремний пластинаның термиялық оксидті қабаты әдетте көлденең құбырлы пеште өсіріледі және өсу температурасының диапазоны әдетте 900 ° C ~ 1200 ° C құрайды және «ылғалды тотығу» және «құрғақ тотығу» екі өсу режимі бар. Термиялық оксид қабаты CVD тұндырылған оксид қабатына қарағанда жоғары біртектілігі және жоғары диэлектрлік беріктігі бар «өскен» оксидті қабат болып табылады. Термиялық оксид қабаты оқшаулағыш ретінде тамаша диэлектрлік қабат болып табылады. Көптеген кремний негізіндегі құрылғыларда термиялық оксид қабаты легирлеуші қабат және беттік диэлектрик ретінде маңызды рөл атқарады.
Кеңестер: Тотығу түрі
1. Құрғақ тотығу
Кремний оттегімен әрекеттеседі, ал оксид қабаты базальды қабатқа қарай жылжиды. Құрғақ тотығуды 850-ден 1200 ° C-қа дейінгі температурада жүргізу керек, ал өсу жылдамдығы төмен, оны MOS оқшаулау қақпасының өсуі үшін қолдануға болады. Жоғары сапалы, ультра жұқа кремний оксидінің қабаты қажет болғанда, дымқыл тотығудан құрғақ тотығуға артықшылық беріледі.
Құрғақ тотығу сыйымдылығы: 15нм~300нм(150А ~ 3000А)
2. Ылғалды тотығу
Бұл әдіс ~1000 ° C температурада жану үшін сутегі мен жоғары таза оттегі қоспасын пайдаланады, осылайша оксид қабатын қалыптастыру үшін су буын шығарады. Ылғалды тотығу құрғақ тотығу сияқты жоғары сапалы тотығу қабатын жасай алмаса да, оқшаулау аймағы ретінде пайдалануға жеткілікті, құрғақ тотығумен салыстырғанда оның өсу жылдамдығының жоғары болуы айқын артықшылығы бар.
Ылғалды тотығу сыйымдылығы: 50нм~ 15мкм (500А ~15мкм)
3. Құрғақ әдіс – дымқыл әдіс – құрғақ әдіс
Бұл әдісте бастапқы кезеңде тотығу пешіне таза құрғақ оттегі жіберіледі, тотығудың ортасына сутегі қосылады, ал сутегі таза құрғақ оттегімен тотығуды жалғастыру үшін соңында сақталады. су буы түріндегі жалпы ылғалды тотығу процесі.
4. TEOS тотығуы
| Тотығу техникасы | Ылғалды тотығу немесе Құрғақ тотығу |
| Диаметрі | 2″/3″/4″/6″/8″/12″ |
| Оксидтің қалыңдығы | 100 Å ~ 15µm |
| Толеранттылық | +/- 5% |
| Беткей | Бір жақты тотығу (SSO) / Екі жақты тотығу (DSO) |
| Пеш | Көлденең құбырлы пеш |
| Газ | Сутегі және оттегі газы |
| Температура | 900℃ ~ 1200 ℃ |
| Сыну көрсеткіші | 1,456 |
