Semicera Silicon Substrates теңдесі жоқ сапа мен дәлдікті ұсына отырып, жартылай өткізгіштер өнеркәсібінің қатаң талаптарын қанағаттандыру үшін жасалған. Бұл субстраттар интегралды схемалардан фотоэлектрлік элементтерге дейін әртүрлі қолданбалар үшін сенімді негіз болып табылады, оңтайлы өнімділік пен ұзақ мерзімділікті қамтамасыз етеді.
Semicera Silicon Substrates жоғары тазалығы жоғары тиімді электрондық компоненттерді өндіру үшін маңызды болып табылатын ең аз ақаулар мен жоғары электр сипаттамаларын қамтамасыз етеді. Бұл тазалық деңгейі энергия шығынын азайтуға және жартылай өткізгіш құрылғылардың жалпы тиімділігін арттыруға көмектеседі.
Semicera кремний субстраттарын ерекше біркелкі және тегістікпен шығару үшін ең заманауи өндіріс әдістерін қолданады. Бұл дәлдік жартылай өткізгішті жасауда дәйекті нәтижелерге қол жеткізу үшін өте маңызды, мұнда тіпті ең аз ауытқу құрылғының өнімділігі мен өнімділігіне әсер етуі мүмкін.
Әртүрлі өлшемдер мен сипаттамаларда қол жетімді, Semicera Silicon Substrates өнеркәсіптік қажеттіліктердің кең ауқымын қанағаттандырады. Ең озық микропроцессорларды немесе күн панельдерін жасап жатырсыз ба, бұл субстраттар сіздің арнайы қолданбаңызға қажетті икемділік пен сенімділікті қамтамасыз етеді.
Semicera жартылай өткізгіш өнеркәсібіндегі инновациялар мен тиімділікті қолдауға арналған. Жоғары сапалы кремний субстраттарын ұсына отырып, біз өндірушілерге нарықтың дамып келе жатқан талаптарына сәйкес келетін өнімдерді жеткізе отырып, технологияның шекарасын ілгерілетуге мүмкіндік береміз. Жаңа буын электрондық және фотоэлектрлік шешімдер үшін Semicera-ға сеніңіз.
Элементтер | Өндіріс | Зерттеу | Манеке |
Кристалл параметрлері | |||
Политип | 4H | ||
Беттік бағдар қатесі | <11-20 >4±0,15° | ||
Электрлік параметрлер | |||
Допант | n-типті азот | ||
Қарсылық | 0,015-0,025 Ом·см | ||
Механикалық параметрлер | |||
Диаметрі | 150,0±0,2мм | ||
Қалыңдығы | 350±25 мкм | ||
Бастапқы жазық бағдарлау | [1-100]±5° | ||
Негізгі жалпақ ұзындық | 47,5±1,5мм | ||
Екінші пәтер | Жоқ | ||
TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
LTV | ≤3 мкм(5мм*5мм) | ≤5 мкм(5мм*5мм) | ≤10 мкм(5мм*5мм) |
Садақ | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Бұрыш | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
Алдыңғы (Si-бет) кедір-бұдырлығы (AFM) | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) | ||
Құрылымы | |||
Микроқұбырдың тығыздығы | <1 э/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
Металл қоспалары | ≤5E10атом/см2 | NA | |
BPD | ≤1500 е/см2 | ≤3000 е/см2 | NA |
TSD | ≤500 е/см2 | ≤1000 е/см2 | NA |
Алдыңғы сапа | |||
Алдыңғы | Si | ||
Беткі әрлеу | Si-face CMP | ||
Бөлшектер | ≤60ea/вафли (өлшемі≥0,3мкм) | NA | |
сызаттар | ≤5е/мм. Жиынтық ұзындық ≤Диаметр | Жиынтық ұзындық≤2*Диаметр | NA |
Апельсин қабығы / шұңқырлар / дақтар / жолақтар / жарықтар / ластану | Жоқ | NA | |
Шеткі чиптер/шегістер/сынулар/алты қырлы тақталар | Жоқ | ||
Политипті аймақтар | Жоқ | Жиынтық ауданы≤20% | Жиынтық ауданы≤30% |
Алдыңғы лазерлік таңбалау | Жоқ | ||
Артқы сапа | |||
Артқы мәре | C-бет CMP | ||
сызаттар | ≤5ea/мм,Жиынтық ұзындық≤2*Диаметр | NA | |
Артқы ақаулар (жиек чиптері/шегіністері) | Жоқ | ||
Артқы кедір-бұдыр | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) | ||
Артқы лазерлік таңбалау | 1 мм (жоғарғы шетінен) | ||
Жиек | |||
Жиек | Фака | ||
Қаптама | |||
Қаптама | Вакуумды орауышпен эпи-дайын Көп вафлилі кассеталық қаптама | ||
*Ескертпелер: «NA» сұрау жоқ дегенді білдіреді Атылмаған элементтер SEMI-STD-ге сілтеме жасай алады. |