Өнімге шолу
TheКремниймен сіңдірілген кремний карбиді (SiC) қалақша және вафельді тасымалдаушыжартылай өткізгішті термиялық өңдеу қолданбаларының күрделі талаптарын қанағаттандыру үшін әзірленген. Жоғары таза SiC-тен жасалған және кремний сіңдіру арқылы жақсартылған бұл өнім жоғары температуралық өнімділіктің, тамаша жылу өткізгіштіктің, коррозияға төзімділіктің және керемет механикалық беріктіктің бірегей үйлесімін ұсынады.
Жетілдірілген материалтануды дәл өндіріспен біріктіру арқылы бұл шешім жартылай өткізгіш өндірушілер үшін жоғары өнімділікті, сенімділікті және ұзақ мерзімділікті қамтамасыз етеді.
Негізгі мүмкіндіктер
1.Ерекше жоғары температураға төзімділік
Балқу температурасы 2700°C-ден асатын SiC материалдары қатты ыстықта тұрақты. Кремнийді сіңдіру олардың термиялық тұрақтылығын одан әрі жақсартады, бұл олардың құрылымдық әлсіреуінсіз немесе өнімділігінің төмендеуінсіз жоғары температураның ұзақ әсер етуіне төтеп беруге мүмкіндік береді.
2.Жоғары жылу өткізгіштік
Кремниймен сіңдірілген SiC ерекше жылу өткізгіштігі өңдеудің маңызды кезеңдерінде жылу кернеуін азайтып, біркелкі жылудың таралуын қамтамасыз етеді. Бұл қасиет жабдықтың қызмет ету мерзімін ұзартады және өндірістің тоқтап қалуын азайтады, бұл оны жоғары температурада термиялық өңдеу үшін өте қолайлы етеді.
3.Тотығуға және коррозияға төзімділік
Бетінде табиғи түрде берік кремний оксиді қабаты түзіліп, тотығуға және коррозияға тамаша төзімділік береді. Бұл материалды да, айналасындағы құрамдастарды да қорғай отырып, қатал жұмыс орталарында ұзақ мерзімді сенімділікті қамтамасыз етеді.
4.Жоғары механикалық беріктік пен тозуға төзімділік
Кремниймен сіңдірілген SiC жоғары жүктеме, жоғары температура жағдайында оның құрылымдық тұтастығын сақтай отырып, тамаша қысу беріктігі мен тозуға төзімділігімен ерекшеленеді. Бұл тозуға байланысты зақымдану қаупін азайтып, ұзартылған пайдалану циклдерінде тұрақты өнімділікті қамтамасыз етеді.
Техникалық сипаттамалар
| Өнім атауы | SC-RSiC-Si |
| Материал | Кремнийді сіңдіру кремний карбиді ықшам (тазалығы жоғары) |
| Қолданбалар | Жартылай өткізгішті термиялық өңдеу бөлшектері, жартылай өткізгіштерді өндіруге арналған жабдық бөлшектері |
| Жеткізу формасы | Қалыпталған корпус (агломерленген дене) |
| Құрамы | Механикалық қасиет | Жас модулі (GPa) | Иілу күші (МПа) | ||
| Құрамы (көлемі%) | α-SiC | α-SiC | RT | 370 | 250 |
| 82 | 18 | 800°C | 360 | 220 | |
| Сусымалы тығыздық (кг/м³) | 3,02 x 103 | 1200°C | 340 | 220 | |
| Ыстыққа төзімді Температура°C | 1350 | Пуассон қатынасы | 0,18(RT) | ||
| Жылу қасиеті | Жылу өткізгіштік (Вт/(м· К)) | Меншікті жылу сыйымдылығы (кДж/(кг·К)) | Жылулық кеңею коэффициенті (1/К) | ||
| RT | 220 | 0,7 | RT~700°C | 3,4 x 10-6 | |
| 700°C | 60 | 1.23 | 700~1200°C | 4,3 x10-6 | |
| Қоспа мазмұны ((ppm) | |||||||||||||
| Элемент | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
| Мазмұн жылдамдығы | 3 | <2 | <0,5 | <0,1 | <1 | 5 | 0.3 | <0,1 | <0,1 | <0,1 | <0,3 | <0,3 | 25 |
Қолданбалар
▪Жартылай өткізгішті термиялық өңдеу:Температураны дәл бақылау және материалдың беріктігі маңызды болып табылатын химиялық булардың тұндыру (CVD), эпитаксиалды өсу және жасыту сияқты процестер үшін өте қолайлы.
▪Вафельді тасымалдаушылар мен қалақшалар:Жоғары температурада термиялық өңдеу кезінде пластиналарды қауіпсіз ұстауға және тасымалдауға арналған.
▪Экстремалды жұмыс орталары: Ыстыққа, химиялық әсерге және механикалық кернеуге төзімділікті қажет ететін параметрлер үшін қолайлы.
Кремниймен сіңдірілген SiC артықшылықтары
Жоғары таза кремний карбиді мен кремнийді сіңдіру технологиясының үйлесімі теңдесі жоқ өнімділік артықшылықтарын береді:
▪Дәлдік:Жартылай өткізгішті өңдеудің дәлдігі мен бақылауын жақсартады.
▪Тұрақтылық:Функционалдылықты бұзбай, қатал орталарға төтеп береді.
▪Ұзақ өмір сүру:Жартылай өткізгіштерді шығаратын жабдықтың қызмет ету мерзімін ұзартады.
▪Тиімділігі:Сенімді және дәйекті нәтижелерді қамтамасыз ету арқылы өнімділікті арттырады.
Неліктен кремниймен сіңдірілген SiC шешімдерін таңдау керек?
At Жартылай, біз жартылай өткізгіш өндірушілердің қажеттіліктеріне бейімделген жоғары өнімді шешімдерді ұсынуға маманданғанбыз. Біздің кремниймен сіңдірілген кремний карбиді қалақшасы мен вафельді тасымалдауышымыз салалық стандарттарға сай болу үшін қатаң сынақтан және сапа кепілдігінен өтеді. Semicera таңдау арқылы сіз өндірістік процестеріңізді оңтайландыруға және өндірістік мүмкіндіктеріңізді арттыруға арналған озық материалдарға қол жеткізе аласыз.
Техникалық сипаттамалар
▪Материалдық құрамы:Кремний сіңдіруімен жоғары таза кремний карбиді.
▪Жұмыс температурасының диапазоны:2700 ° C дейін.
▪ Жылу өткізгіштік:Жылуды біркелкі бөлу үшін ерекше жоғары.
▪Қарсылық қасиеттері:Тотығуға, коррозияға және тозуға төзімді.
▪Қолданбалар:Әр түрлі жартылай өткізгіш термиялық өңдеу жүйелерімен үйлесімді.
Бізбен хабарласыңы
Жартылай өткізгішті өндіру процесін жоғарылатуға дайынсыз ба? БайланысЖартылайбүгін кремниймен сіңдірілген кремний карбиді қалақша және вафельді тасымалдаушы туралы көбірек білу үшін.
▪Электрондық пошта: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪Телефон: +86-0574-8650 3783
▪Орналасқан жері:№1958 Цзяннан жолы, Нинбо жоғары технологиялық аймақ, Чжэцзян провинциясы, 315201, Қытай
