Semicera компаниясының кремний пленкасы жартылай өткізгіштер өнеркәсібінің қатаң талаптарын қанағаттандыруға арналған жоғары сапалы, дәлдікпен жасалған материал. Таза кремнийден жасалған бұл жұқа үлбірлі ерітінді тамаша біркелкі, жоғары тазалық және ерекше электрлік және жылулық қасиеттерді ұсынады. Ол Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate және Epi-Wafer өндірісін қоса, әртүрлі жартылай өткізгіш қолданбаларда пайдалану үшін өте қолайлы. Semicera кремний пленкасы сенімді және тұрақты өнімділікті қамтамасыз етеді, бұл оны озық микроэлектроника үшін маңызды материал етеді.
Жартылай өткізгіштерді өндіру үшін жоғары сапа және өнімділік
Semicera компаниясының кремний пленкасы өзінің тамаша механикалық беріктігімен, жоғары термиялық тұрақтылығымен және төмен ақаулық көрсеткіштерімен танымал, олардың барлығы жоғары өнімді жартылай өткізгіштерді өндіруде шешуші рөл атқарады. Галлий оксиді (Ga2O3) құрылғыларын, AlN Wafer немесе Epi-Ваферлерді өндіруде пайдаланылғанына қарамастан, пленка жұқа қабықшаны тұндыру және эпитаксиалды өсу үшін күшті негіз береді. Оның SiC Substrate және SOI Wafers сияқты басқа жартылай өткізгіш субстраттармен үйлесімділігі жоғары өнімділік пен тұрақты өнім сапасын сақтауға көмектесіп, бар өндіріс процестеріне үздіксіз интеграцияны қамтамасыз етеді.
Жартылай өткізгіштер өнеркәсібіндегі қолданбалар
Жартылай өткізгіш өнеркәсібінде Semicera кремний пленкасы Si Wafer және SOI Wafer өндірісінен бастап SiN Substrate және Epi-Wafer жасау сияқты мамандандырылған мақсаттарға дейін кең ауқымда қолданылады. Бұл пленканың жоғары тазалығы мен дәлдігі оны микропроцессорлар мен интегралды схемалардан бастап оптоэлектронды құрылғыларға дейінгі барлық нәрседе қолданылатын озық компоненттерді өндіруде маңызды етеді.
Кремний пленкасы эпитаксиалды өсу, вафлиді байланыстыру және жұқа қабықша тұндыру сияқты жартылай өткізгіш процестерде маңызды рөл атқарады. Оның сенімді қасиеттері әсіресе жартылай өткізгіш фабрикалардағы таза бөлмелер сияқты жоғары бақыланатын орталарды қажет ететін салалар үшін өте құнды. Сонымен қатар, кремний пленкасы өндіріс кезінде вафлиді тиімді өңдеу және тасымалдау үшін кассеталық жүйелерге біріктірілуі мүмкін.
Ұзақ мерзімді сенімділік пен жүйелілік
Semicera кремний қабығын пайдаланудың басты артықшылықтарының бірі оның ұзақ мерзімді сенімділігі болып табылады. Тамаша беріктігі мен тұрақты сапасымен бұл фильм жоғары көлемді өндіріс орталары үшін сенімді шешімді қамтамасыз етеді. Ол жоғары дәлдіктегі жартылай өткізгіш құрылғыларда немесе жетілдірілген электронды қолданбаларда қолданылса да, Semicera кремний пленкасы өндірушілердің кең ауқымды өнімдерде жоғары өнімділік пен сенімділікке қол жеткізуіне кепілдік береді.
Неліктен Semicera кремний пленкасын таңдау керек?
Semicera компаниясының кремний пленкасы жартылай өткізгіш өнеркәсібіндегі озық қолданбалар үшін маңызды материал болып табылады. Оның жоғары өнімділік қасиеттері, соның ішінде тамаша термиялық тұрақтылық, жоғары тазалық және механикалық беріктік, оны жартылай өткізгіш өндірісінде ең жоғары стандарттарға қол жеткізгісі келетін өндірушілер үшін тамаша таңдау жасайды. Si Wafer және SiC Substrate бастап Галлий оксиді Ga2O3 құрылғыларын өндіруге дейін бұл фильм теңдесі жоқ сапа мен өнімділікті қамтамасыз етеді.
Semicera компаниясының кремний пленкасы арқылы сіз заманауи жартылай өткізгіш өндірісінің қажеттіліктерін қанағаттандыратын, электрониканың келесі буынын сенімді негіз болатын өнімге сене аласыз.
Элементтер | Өндіріс | Зерттеу | Манеке |
Кристалл параметрлері | |||
Политип | 4H | ||
Беттік бағдар қатесі | <11-20 >4±0,15° | ||
Электрлік параметрлер | |||
Допант | n-типті азот | ||
Қарсылық | 0,015-0,025 Ом·см | ||
Механикалық параметрлер | |||
Диаметрі | 150,0±0,2мм | ||
Қалыңдығы | 350±25 мкм | ||
Бастапқы жазық бағдарлау | [1-100]±5° | ||
Негізгі жалпақ ұзындық | 47,5±1,5мм | ||
Екінші пәтер | Жоқ | ||
TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
LTV | ≤3 мкм(5мм*5мм) | ≤5 мкм(5мм*5мм) | ≤10 мкм(5мм*5мм) |
Садақ | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Бұрыш | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
Алдыңғы (Si-бет) кедір-бұдырлығы (AFM) | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) | ||
Құрылымы | |||
Микроқұбырдың тығыздығы | <1 э/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
Металл қоспалары | ≤5E10атом/см2 | NA | |
BPD | ≤1500 е/см2 | ≤3000 е/см2 | NA |
TSD | ≤500 е/см2 | ≤1000 е/см2 | NA |
Алдыңғы сапа | |||
Алдыңғы | Si | ||
Беткі әрлеу | Si-face CMP | ||
Бөлшектер | ≤60ea/вафли (өлшемі≥0,3мкм) | NA | |
сызаттар | ≤5е/мм. Жиынтық ұзындық ≤Диаметр | Жиынтық ұзындық≤2*Диаметр | NA |
Апельсин қабығы / шұңқырлар / дақтар / жолақтар / жарықтар / ластану | Жоқ | NA | |
Шеткі чиптер/шегістер/сынулар/алты қырлы тақталар | Жоқ | ||
Политипті аймақтар | Жоқ | Жиынтық ауданы≤20% | Жиынтық ауданы≤30% |
Алдыңғы лазерлік таңбалау | Жоқ | ||
Артқы сапа | |||
Артқы мәре | C-бет CMP | ||
сызаттар | ≤5ea/мм,Жиынтық ұзындық≤2*Диаметр | NA | |
Артқы ақаулар (жиек чиптері/шегіністері) | Жоқ | ||
Артқы кедір-бұдыр | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) | ||
Артқы лазерлік таңбалау | 1 мм (жоғарғы шетінен) | ||
Жиек | |||
Жиек | Фака | ||
Қаптама | |||
Қаптама | Вакуумды орауышпен эпи-дайын Көп вафлилі кассеталық қаптама | ||
*Ескертпелер: «NA» сұрау жоқ дегенді білдіреді Атылмаған элементтер SEMI-STD-ге сілтеме жасай алады. |