Semicera компаниясының кремний карбидті вафлиі бүгінгі жоғары дәлдіктегі жартылай өткізгіш өнеркәсібінің талаптарын қанағаттандыру үшін жасалған. Бұл өзінің ерекше беріктігімен, жоғары термиялық тұрақтылығымен және жоғары тазалығымен танымалвафлижартылай өткізгіштерді өндіруде сынау, калибрлеу және сапаны қамтамасыз ету үшін өте маңызды. Semicera компаниясының кремний карбидті вафли теңдесі жоқ тозуға төзімділікті қамтамасыз етеді, ол тозбай қатаң пайдалануға төтеп бере алады, бұл оны ҒЗТКЖ және өндірістік орталар үшін өте қолайлы етеді.
Әртүрлі қолданбаларды қолдауға арналған, кремний карбиді күмбезді вафли жиі қолданылатын процестерде қолданылады.Си Вафер, SiC субстрат, SOI вафли, SiN субстрат, жәнеЭпи-вафельтехнологиялар. Оның тамаша жылу өткізгіштігі мен құрылымдық тұтастығы оны озық электронды компоненттер мен құрылғыларды өндіруде кең таралған жоғары температурада өңдеу және өңдеу үшін тамаша таңдау жасайды. Сонымен қатар, вафлидің жоғары тазалығы ластану қаупін азайтып, сезімтал жартылай өткізгіш материалдардың сапасын сақтайды.
Жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде кремний карбидті вафли жаңа материалды сынау үшін сенімді анықтамалық пластиналар ретінде қызмет етеді, соның ішінде Gallium Oxide Ga2O3 және AlN Wafer. Бұл пайда болатын материалдар әртүрлі жағдайларда олардың тұрақтылығы мен өнімділігін қамтамасыз ету үшін мұқият талдауды және тестілеуді қажет етеді. Semicera's манекен пластинасын пайдалану арқылы өндірушілер өнімділік консистенциясын сақтайтын тұрақты платформаға ие болады, бұл жоғары қуатты, РЖ және жоғары жиілікті қолданбалар үшін келесі буын материалдарын әзірлеуге көмектеседі.
Барлық салалардағы қолданбалар
• Жартылай өткізгішті жасау
SiC Dummy пластиналары жартылай өткізгіштерді өндіруде, әсіресе өндірістің бастапқы кезеңдерінде өте маңызды. Олар кремний пластинкаларын ықтимал зақымданудан қорғайтын және процестің дәлдігін қамтамасыз ететін қорғаныс кедергісі ретінде қызмет етеді.
•Сапаны қамтамасыз ету және тестілеу
Сапаны қамтамасыз етуде SiC Dummy Wafers жеткізуді тексеру және процесс формаларын бағалау үшін өте маңызды. Олар пленка қалыңдығы, қысымға төзімділік және шағылысу индексі сияқты параметрлерді дәл өлшеуге мүмкіндік береді, бұл өндіріс процестерін тексеруге ықпал етеді.
•Литография және үлгіні тексеру
Литографияда бұл пластиналар үлгі өлшемін өлшеу және ақауларды тексеру үшін эталон ретінде қызмет етеді. Олардың дәлдігі мен сенімділігі жартылай өткізгіш құрылғының жұмыс істеуі үшін маңызды болып табылатын қажетті геометриялық дәлдікке қол жеткізуге көмектеседі.
•Зерттеулер және әзірлемелер
ҒЗТКЖ орталарында SiC Dummy Wafers икемділігі мен ұзақ мерзімділігі кең тәжірибені қолдайды. Олардың қатаң сынақ шарттарына төзе білу қабілеті оларды жаңа жартылай өткізгіш технологияларды жасау үшін баға жетпес құнды етеді.
