SiC қапталған эпитаксиалды реактордың бөшкелері

Қысқаша сипаттама:

Semicera әртүрлі эпитаксистік реакторларға арналған сенсорлар мен графит компоненттерінің кең ауқымын ұсынады.

Өнеркәсіптегі жетекші OEM-мен стратегиялық серіктестік, материалдардың кең тәжірибесі және озық өндіріс мүмкіндіктері арқылы Semicera қолданбаңыздың нақты талаптарына сәйкес келетін дизайнды ұсынады. Біздің жоғары деңгейге ұмтылуымыз сізге эпитаксистік реактор қажеттіліктері үшін оңтайлы шешімдерді алуға кепілдік береді.

 

 


Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

Сипаттама

Біздің компания қамтамасыз етедіSiC жабыныҚұрамында көміртегі мен кремнийі бар арнайы газдар жоғары температурада әрекеттесіп, жабынмен қапталған материалдардың бетіне шөгіп қалуы мүмкін жоғары таза Sic молекулаларын алуы үшін CVD әдісімен графит, керамика және басқа материалдардың бетінде өңдеу қызметтері.SiC қорғаныс қабатыэпитаксистік баррель типті гипнотикалық үшін.

 

sic (1)

sic (2)

Негізгі мүмкіндіктер

1. Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі:
температура 1600 C дейін жоғары болған кезде тотығуға төзімділік әлі де өте жақсы.
2. Жоғары тазалық: жоғары температурада хлорлау жағдайында химиялық бу тұндыру арқылы жасалған.
3. Эрозияға төзімділік: жоғары қаттылық, ықшам беті, ұсақ бөлшектер.
4. Коррозияға төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.

CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары

SiC-CVD қасиеттері
Кристалл құрылымы FCC β фазасы
Тығыздығы г/см³ 3.21
Қаттылық Викерс қаттылығы 2500
Астық мөлшері мкм 2~10
Химиялық тазалық % 99.99995
Жылу сыйымдылығы Дж·кг-1 ·К-1 640
Сублимация температурасы 2700
Фелексальды күш МПа (RT 4-нүкте) 415
Жас модулі Gpa (4pt иілу, 1300℃) 430
Термиялық кеңею (CTE) 10-6К-1 4.5
Жылу өткізгіштік (Вт/мК) 300
Жартылай жұмыс орны
Жартылай жұмыс орны 2
Жабдық машинасы
CNN өңдеу, химиялық тазалау, CVD жабыны
Біздің қызмет

  • Алдыңғы:
  • Келесі: