SiC пластина - бұл SiC негізіндегі және 2250 ℃ температурада агломерацияланған 0 кеуектілігі тығыз дене керамикасының бір түрі.SiC мазмұны 99,6% -дан астам, иілу беріктігі 410 мпа-дан астам және жылу өткізгіштік 140 Вт / МК бұл HF, H2SO4 және басқа күшті қышқыл коррозиясына төзімді жалғыз керамикалық материал.
Кремний карбидті керамиканың артықшылықтары:
1, термиялық кеңею коэффициенті шағын, кремнийге өте жақын;
2, тамаша тозуға төзімділік, қаттылық тек гауһар тас;
3, тамаша жылу өткізгіштік, жоғары температураға төзімділік және жылдам жылуды тарату;
![Кремний карбиді патрон3](http://www.semi-cera.com/uploads/Silicon-carbide-chuck3.png)
Техникалық параметрлер
![图片1](http://www.semi-cera.com/uploads/15a6ba392.png)
-
Арнайы реакция агломерациялау жоғары температура төзімділігі...
-
Лазерлік микро ағынды кесу (LMJ) жабдығы сіз...
-
Жартылай өткізгішті кремний карбидті вафельді қайық болуы мүмкін...
-
Жоғары тазалықтағы алюминий тотығы жартылай өткізгішті оқшаулағыш ...
-
Бірінші жарты бөлім – SiC эпитаксистік жабдық...
-
Жартылай өткізгішті микрокеуекті керамикалық вакуум патрон ...