ЖартылайКремний карбиді керамикалық жабынөте қатты және тозуға төзімді кремний карбидінен (SiC) жасалған жоғары өнімді қорғаныс жабыны болып табылады. Қаптау әдетте субстраттың бетіне CVD немесе PVD процесі арқылы қойыладыкремний карбидінің бөлшектері, тамаша химиялық коррозияға төзімділік пен жоғары температура тұрақтылығын қамтамасыз етеді. Сондықтан кремний карбиді керамикалық жабын жартылай өткізгішті өндіру жабдықтарының негізгі компоненттерінде кеңінен қолданылады.
Жартылай өткізгіштер өндірісінде,SiC жабыны1600°C-қа дейінгі өте жоғары температураға төтеп бере алады, сондықтан кремний карбиді керамикалық жабын жиі жоғары температурада немесе коррозиялық ортада зақымдануды болдырмау үшін жабдық немесе құралдар үшін қорғаныс қабаты ретінде пайдаланылады.
Осы уақытта,кремний карбиді керамикалық жабынқышқылдардың, сілтілердің, оксидтердің және басқа химиялық реагенттердің эрозиясына төтеп бере алады және әртүрлі химиялық заттардың коррозияға төзімділігі жоғары. Сондықтан бұл өнім жартылай өткізгіш өнеркәсібіндегі әртүрлі коррозиялық орталарға жарамды.
Сонымен қатар, басқа керамикалық материалдармен салыстырғанда, SiC жоғары жылу өткізгіштікке ие және жылуды тиімді өткізе алады. Бұл қасиет температураны дәл бақылауды талап ететін жартылай өткізгіш процестерде жоғары жылу өткізгіштігін анықтайдыКремний карбиді керамикалық жабынжылуды біркелкі таратуға, жергілікті қызып кетуді болдырмауға және құрылғының оңтайлы температурада жұмыс істеуін қамтамасыз етуге көмектеседі.
| CVD sic жабынының негізгі физикалық қасиеттері | |
| Меншік | Типтік мән |
| Кристалл құрылымы | FCC β фазалық поликристалды, негізінен (111) бағытталған |
| Тығыздығы | 3,21 г/см³ |
| Қаттылық | 2500 Викерс қаттылығы (500 г жүктеме) |
| Астық өлшемі | 2~10мкм |
| Химиялық тазалық | 99,99995% |
| Жылу сыйымдылығы | 640 Дж·кг-1· Қ-1 |
| Сублимация температурасы | 2700℃ |
| Иілу күші | 415 МПа RT 4-нүкте |
| Жас модулі | 430 Gpa 4pt иілісі, 1300℃ |
| Жылу өткізгіштік | 300Вт·м-1· Қ-1 |
| Термиялық кеңею (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
