Графит негізіндегі SiC қапталған графит тасымалдаушылары үшін SiC қапталған процесс

Қысқаша сипаттама:

Semicera Energy Technology Co., Ltd - озық жартылай өткізгіш керамиканың жетекші жеткізушісі. Біздің негізгі өнімдерімізге мыналар жатады: кремний карбидті өрнектелген дискілер, кремний карбиді қайық тіркемелері, кремний карбидті пластиналар (PV және жартылай өткізгіш), кремний карбидті пеш түтіктері, кремний карбиді консоль қалақшалары, кремний карбиді патрондары, кремний карбиді арқалықтар, сондай-ақ SiC және CVD TaC жабындары.
Өнімдер негізінен жартылай өткізгіш және фотоэлектрлік өнеркәсіптерде, мысалы, кристалдардың өсуі, эпитаксия, өрнектеу, орау, қаптау және диффузиялық пештердің жабдықтарында қолданылады.

 

Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

Сипаттама

Қолдану кезінде біз өте жақын төзімділікті сақтаймызSiC жабыны, біркелкі қабылдағыш профилін қамтамасыз ету үшін жоғары дәлдіктегі өңдеуді қолдану. Біз сондай-ақ индуктивті жылытылатын жүйелерде пайдалану үшін тамаша электрлік кедергі қасиеттері бар материалдарды шығарамыз. Барлық дайын компоненттер тазалық пен өлшемді сәйкестік сертификатымен бірге жеткізіледі.

Біздің компания қамтамасыз етедіSiC жабыныграфиттің, керамиканың және басқа материалдардың бетінде CVD әдісімен өңдеу қызметтері, осылайша құрамында көміртегі мен кремний бар арнайы газдар жоғары температурада әрекеттесіп, жоғары таза SiC молекулаларын, SIC қорғаныш қабатын құрайтын, қапталған материалдардың бетіне тұндырылған молекулаларды алады. Түзілген SIC графит негізіне мықтап жабысып, графит негізіне ерекше қасиеттер береді, осылайша графиттің бетін ықшам, кеуектіліксіз, жоғары температураға төзімді, коррозияға және тотығуға төзімді етеді.

gf (1)

CVD процесі өте жоғары тазалық пен теориялық тығыздықты қамтамасыз етедіSiC жабыныкеуектілігі жоқ. Сонымен қатар, кремний карбиді өте қатты болғандықтан, оны айна тәрізді бетке жылтыратуға болады.CVD кремний карбиді (SiC) жабыныультра жоғары тазалық беті және өте тозуға төзімділік сияқты бірнеше артықшылықтар берді. Қапталған өнімдер жоғары вакуумда және жоғары температура жағдайында тамаша өнімділікке ие болғандықтан, олар жартылай өткізгіш өнеркәсібінде және басқа да өте таза ортада қолдану үшін өте қолайлы. Біз сондай-ақ пиролитикалық графит (PG) өнімдерін ұсынамыз.

 

Негізгі мүмкіндіктер

1. Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі:
температура 1600 C дейін жоғары болған кезде тотығуға төзімділік әлі де өте жақсы.
2. Жоғары тазалық: жоғары температурада хлорлау жағдайында химиялық бу тұндыру арқылы жасалған.
3. Эрозияға төзімділік: жоғары қаттылық, ықшам беті, ұсақ бөлшектер.
4. Коррозияға төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.

Негізгі-05

Негізгі-04

Негізгі-03

CVD-SIC жабындарының негізгі сипаттамалары

SiC-CVD
Тығыздығы (г/cc) 3.21
Иілу күші (МПа) 470
Термиялық кеңею (10-6/К) 4
Жылу өткізгіштік (Вт/мК) 300

Қолданба

CVD кремний карбиді жабыны MOCVD науасы, RTP және оксидті өңдеу камерасы сияқты жартылай өткізгіш салаларда қазірдің өзінде қолданылған, өйткені кремний нитриді үлкен термиялық соққыға төзімді және жоғары энергия плазмасына төтеп бере алады.
-Кремний карбиді жартылай өткізгіште және қаптауда кеңінен қолданылады.

Қолданба

Жабдықтау мүмкіндігі:
Айына 10000 дана/дана
Қаптама және жеткізу:
Қаптама: Стандартты және күшті қаптама
Поли пакет + қорап + картон + паллет
Порт:
Нинбо/Шэньчжэнь/Шанхай
Тоқтау:

Саны (дана) 1 – 1000 >1000
Оңтүстік Америка шығыс бөлігінің стандартты уақыты. Уақыт (күндер) 30 Келіссөздер жүргізу
Жартылай жұмыс орны
Жартылай жұмыс орны 2
Жабдық машинасы
CNN өңдеу, химиялық тазалау, CVD жабыны
Біздің қызмет

  • Алдыңғы:
  • Келесі: