ЖартылайтаныстырадыЖартылай өткізгіш кассета, жартылай өткізгіштерді өндіру процесінде пластиналарды қауіпсіз және тиімді өңдеуге арналған маңызды құрал. Жоғары дәлдікпен жасалған бұл кассета сіздің пластиналарыңыздың әр кезеңде тұтастығын сақтай отырып, қауіпсіз сақталуын және тасымалдануын қамтамасыз етеді.
Жоғары қорғаныс және төзімділікTheЖартылай өткізгіш кассетаSemicera-дан вафельді барынша қорғау үшін жасалған. Берік, ластануға төзімді материалдардан жасалған, ол сіздің пластиналарыңызды ықтимал зақымданудан және ластанудан қорғайды, бұл оны таза бөлме орталары үшін тамаша таңдау етеді. Кассета дизайны бөлшектердің пайда болуын азайтады және өңдеу және тасымалдау кезінде пластинаның қозғалмай және қауіпсіз болып қалуын қамтамасыз етеді.
Оңтайлы өнімділік үшін жетілдірілген дизайнЖартылайЖартылай өткізгіш кассетатураланбау және механикалық зақымдану қаупін азайтатын вафельді дәл туралауды қамтамасыз ететін мұқият жобаланған дизайнмен ерекшеленеді. Кассета ұялары әр пластинаны қауіпсіз ұстау үшін өте жақсы орналастырылған, бұл сызаттарға немесе басқа кемшіліктерге әкелуі мүмкін кез келген қозғалысты болдырмайды.
Әмбебаптық және үйлесімділікTheЖартылай өткізгіш кассетажан-жақты және әртүрлі пластиналар өлшемдерімен үйлесімді, бұл оны жартылай өткізгішті дайындаудың әртүрлі кезеңдеріне қолайлы етеді. Стандартты немесе реттелетін вафли өлшемдерімен жұмыс істеп жатсаңыз да, бұл кассета сіздің қажеттіліктеріңізге бейімделіп, өндіріс процестерінде икемділік береді.
Жеңілдетілген өңдеу және тиімділікПайдаланушыны ескере отырып жасалғанЖартылай өткізгіш кассетажеңіл және өңдеуге оңай, тез және тиімді тиеу мен түсіруге мүмкіндік береді. Бұл эргономикалық дизайн уақытты үнемдеп қана қоймайды, сонымен қатар адам қателігінің қаупін азайтып, мекемедегі жұмыстардың бірқалыпты болуын қамтамасыз етеді.
Салалық стандарттарға сәйкес келуSemicera қамтамасыз етедіЖартылай өткізгіш кассетасапа мен сенімділіктің ең жоғары салалық стандарттарына сәйкес келеді. Әрбір кассета жартылай өткізгіштерді өндірудің күрделі шарттарында дәйекті жұмыс істейтініне кепілдік беру үшін қатаң сынақтан өтеді. Сапаға берілген бұл салада талап етілетін жоғары стандарттарды сақтай отырып, вафельдеріңіздің әрқашан қорғалуын қамтамасыз етеді.
| Элементтер | Өндіріс | Зерттеу | Манеке |
| Кристалл параметрлері | |||
| Политип | 4H | ||
| Беттік бағдар қатесі | <11-20 >4±0,15° | ||
| Электрлік параметрлер | |||
| Допант | n-типті азот | ||
| Қарсылық | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Механикалық параметрлер | |||
| Диаметрі | 150,0±0,2мм | ||
| Қалыңдығы | 350±25 мкм | ||
| Бастапқы жазық бағдарлау | [1-100]±5° | ||
| Негізгі жалпақ ұзындық | 47,5±1,5мм | ||
| Екінші пәтер | Жоқ | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм(5мм*5мм) | ≤5 мкм(5мм*5мм) | ≤10 мкм(5мм*5мм) |
| Садақ | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Бұрыш | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Алдыңғы (Si-бет) кедір-бұдырлығы (AFM) | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) | ||
| Құрылымы | |||
| Микроқұбырдың тығыздығы | <1 э/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Металл қоспалары | ≤5E10атом/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 е/см2 | ≤3000 е/см2 | NA |
| TSD | ≤500 е/см2 | ≤1000 е/см2 | NA |
| Алдыңғы сапа | |||
| Алдыңғы | Si | ||
| Беткі әрлеу | Si-face CMP | ||
| Бөлшектер | ≤60ea/вафли (өлшемі≥0,3мкм) | NA | |
| сызаттар | ≤5е/мм. Жиынтық ұзындық ≤Диаметр | Жиынтық ұзындық≤2*Диаметр | NA |
| Апельсин қабығы / шұңқырлар / дақтар / жолақтар / жарықтар / ластану | Жоқ | NA | |
| Шеткі чиптер/шегістер/сынулар/алты қырлы тақталар | Жоқ | ||
| Политипті аймақтар | Жоқ | Жиынтық ауданы≤20% | Жиынтық ауданы≤30% |
| Алдыңғы лазерлік таңбалау | Жоқ | ||
| Артқы сапа | |||
| Артқы мәре | C-бет CMP | ||
| сызаттар | ≤5ea/мм,Жиынтық ұзындық≤2*Диаметр | NA | |
| Артқы ақаулар (жиек чиптері/шегіністері) | Жоқ | ||
| Артқы кедір-бұдыр | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) | ||
| Артқы лазерлік таңбалау | 1 мм (жоғарғы шетінен) | ||
| Жиек | |||
| Жиек | Фака | ||
| Қаптама | |||
| Қаптама | Вакуумды орауышпен эпи-дайын Көп вафлилі кассеталық қаптама | ||
| *Ескертпелер: «NA» сұрау жоқ дегенді білдіреді Атылмаған элементтер SEMI-STD-ге сілтеме жасай алады. | |||
