Жартылайұсынуға қуаныштыPFA кассетасы, химиялық төзімділік пен беріктік маңызды болып табылатын орталарда вафельді өңдеуге арналған премиум таңдау. Тазалығы жоғары перфторалкоксиді (PFA) материалынан жасалған бұл кассета пластиналарыңыздың қауіпсіздігі мен тұтастығын қамтамасыз ете отырып, жартылай өткізгіштерді өндірудегі ең қиын жағдайларға төтеп беруге арналған.
Теңдессіз химиялық төзімділікThePFA кассетасыхимиялық заттардың кең спектріне жоғары төзімділікті қамтамасыз ету үшін жасалған, бұл оны агрессивті қышқылдарды, еріткіштерді және басқа да қатты химиялық заттарды қамтитын процестер үшін тамаша таңдау жасайды. Бұл берік химиялық төзімділік кассетаның ең коррозиялық ортада да бұзылмаған және жұмыс істеп тұруын қамтамасыз етеді, осылайша оның қызмет ету мерзімін ұзартады және жиі ауыстыру қажеттілігін азайтады.
Жоғары таза құрылысЖартылайPFA кассетасывафельді өңдеу кезінде ластануды болдырмау үшін маңызды болып табылатын ультра таза PFA материалынан жасалған. Бұл жоғары таза құрылым бөлшектердің пайда болу және химиялық шаймалау қаупін азайтады, бұл пластиналар сапасына нұқсан келтіруі мүмкін қоспалардан қорғалғанын қамтамасыз етеді.
Жетілдірілген төзімділік пен өнімділікТөзімділік үшін жасалғанPFA кассетасыэкстремалды температура мен қатаң өңдеу жағдайында оның құрылымдық тұтастығын сақтайды. Жоғары температура әсеріне қарамастан немесе қайталанатын өңдеуге ұшырағанына қарамастан, бұл кассета өзінің пішіні мен өнімділігін сақтай отырып, талап етілетін өндірістік орталарда ұзақ мерзімді сенімділікті қамтамасыз етеді.
Қауіпсіз өңдеуге арналған дәлдік инженериясыTheSemicera PFA кассетасықауіпсіз және тұрақты вафельді өңдеуді қамтамасыз ететін дәл инженериямен ерекшеленеді. Әрбір ұяшық вафлиді орнында мықтап ұстау үшін мұқият жасалған, бұл кез келген қозғалысты немесе зақым келтіруі мүмкін орын ауыстыруды болдырмайды. Бұл дәлдік технологиясы жалпы процестің тиімділігіне үлес қоса отырып, вафельді дәйекті және дәл орналастыруды қолдайды.
Процестер бойынша жан-жақты қолдануОның жоғары материалдық қасиеттерінің арқасындаPFA кассетасыжартылай өткізгішті дайындаудың әртүрлі кезеңдерінде қолдануға жеткілікті әмбебап. Ол әсіресе ылғалды өңдеуге, химиялық буларды тұндыруға (CVD) және қатал химиялық ортаны қамтитын басқа процестерге өте қолайлы. Оның бейімделгіштігі оны процестің тұтастығы мен пластинаның сапасын сақтаудың маңызды құралына айналдырады.
Сапа мен инновацияға берілгендікSemicera-да біз ең жоғары салалық стандарттарға сәйкес келетін өнімдерді ұсынуға міндеттенеміз. ThePFA кассетасыөндірістік процестеріңізге үздіксіз кіріктіретін сенімді шешімді ұсына отырып, осы міндеттемені көрсетеді. Әрбір кассета біздің қатаң өнімділік критерийлеріне сәйкес келетініне көз жеткізу үшін қатаң сапа бақылауынан өтіп, Semicera-дан күткен тамаша нәтиже береді.
| Элементтер | Өндіріс | Зерттеу | Манеке |
| Кристалл параметрлері | |||
| Политип | 4H | ||
| Беттік бағдар қатесі | <11-20 >4±0,15° | ||
| Электрлік параметрлер | |||
| Допант | n-типті азот | ||
| Қарсылық | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Механикалық параметрлер | |||
| Диаметрі | 150,0±0,2мм | ||
| Қалыңдығы | 350±25 мкм | ||
| Бастапқы жазық бағдарлау | [1-100]±5° | ||
| Негізгі жалпақ ұзындық | 47,5±1,5мм | ||
| Екінші пәтер | Жоқ | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм(5мм*5мм) | ≤5 мкм(5мм*5мм) | ≤10 мкм(5мм*5мм) |
| Садақ | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Бұрыш | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Алдыңғы (Si-бет) кедір-бұдырлығы (AFM) | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) | ||
| Құрылымы | |||
| Микроқұбырдың тығыздығы | <1 э/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Металл қоспалары | ≤5E10атом/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 е/см2 | ≤3000 е/см2 | NA |
| TSD | ≤500 е/см2 | ≤1000 е/см2 | NA |
| Алдыңғы сапа | |||
| Алдыңғы | Si | ||
| Беткі әрлеу | Si-face CMP | ||
| Бөлшектер | ≤60ea/вафли (өлшемі≥0,3мкм) | NA | |
| сызаттар | ≤5е/мм. Жиынтық ұзындық ≤Диаметр | Жиынтық ұзындық≤2*Диаметр | NA |
| Апельсин қабығы / шұңқырлар / дақтар / жолақтар / жарықтар / ластану | Жоқ | NA | |
| Шеткі чиптер/шегістер/сынулар/алты қырлы тақталар | Жоқ | ||
| Политипті аймақтар | Жоқ | Жиынтық ауданы≤20% | Жиынтық ауданы≤30% |
| Алдыңғы лазерлік таңбалау | Жоқ | ||
| Артқы сапа | |||
| Артқы мәре | C-бет CMP | ||
| сызаттар | ≤5ea/мм,Жиынтық ұзындық≤2*Диаметр | NA | |
| Артқы ақаулар (жиек чиптері/шегіністері) | Жоқ | ||
| Артқы кедір-бұдыр | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) | ||
| Артқы лазерлік таңбалау | 1 мм (жоғарғы шетінен) | ||
| Жиек | |||
| Жиек | Фака | ||
| Қаптама | |||
| Қаптама | Вакуумды орауышпен эпи-дайын Көп вафлилі кассеталық қаптама | ||
| *Ескертпелер: «NA» сұрау жоқ дегенді білдіреді Атылмаған элементтер SEMI-STD-ге сілтеме жасай алады. | |||
