Вафельді тасымалдаушыны енгізу
ӨНІМ КАТАГОРИЯСЫ
▶PECVD және TALOX процесіне арналған вафельді тасымалдау жүйесі
• PECVD және TALOX графит қайығы (M4~M12)
• Тік SM-қайық (M4, M6)
• Имплант және душқа арналған графит бөлігі (M4~M6)
• C/C науа және керамикалық жабын
• Металл RIE-науа және керамикалық жабын
• Вакуумды тығыздау : O-Ring & SQ-Ring
▶Текстурлеу және ылғалды сызу тасымалдау процесі
• LSC H-тасымалдаушы немесе кассета (M4~M12)
• LSC V-Carrier немесе кассета (M4~M12)
• ASC тасымалдаушысы немесе кассета (M4, M6)
• W/F тасымалдаушы және сақтау жәшігі (M4~M12)
• Транспорт дөңгелегі (ролик) сериясы
▶Күн батареяларын тасымалдаушы және металл тасымалдаушы
• TRC тасымалдаушысы немесе кассета (M4~M12)
• Журнал (белдікпен)
Графиттік қайық (H-түрі)
19P6-216CT (WF M4~M12)
Графиттік қайық (H-түрі)
21P6-240CT WF M4~M12)
Графиттік қайық (H-түрі)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
Графиттік қайық (H-түрі)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
Графиттік қайық (H-түрі)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF ТАСЫМАЛДАУЫ ЖӘНЕ САҚТАУ ЖӘБІГІ (~M12)
C/C НАУАСЫ немесе ТАСЫМАЛДАУШЫ (M4~M10)
C/C НАУАСЫ немесе ТАСЫМАЛДАУШЫ (M4~M10)
ТІК ҚАЙЫҚ (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
ASC CARRIER (~M6)
TRC CARRIER(~M12)
TRC CARRIER(~M12)
ГРАФИТ-ҚАЙЫҚ(M12)
PECVD процесіне арналған вафельді тасымалдау жүйесі
▶ ГРАФИТ ҚАЙЫҚ (CT-Designed) M10/M12 процесі
• АРНАЙЫ ДИЗАЙН КОНЦЕПЦИЯСЫ
▶ ГРАФИТ ҚАЙЫҚ (CT-Designed) M4/M6 процесі
▶ ҚАЙЫҚ қосалқы бөлшектері
▶ ТІК ҚАЙЫҚ-161,7 мм ВАФЛИ
▶ ТІК ҚАЙЫҚ-166мм ВАФЛИ
▶ ТІК ҚАЙЫҚ-161,7мм, 166мм ВАФЛИ
Күн батареясының тасымалдаушысы және металл TRC тасымалдаушысы
ТҮРІ: Автоматтандыру
ВАФЛИ ӨЛШЕМІ: ① 156×156MM ② 156,75×156,75мм
③161,7x161,7MM ④166x166MM
⑤ 180×180мм ⑥ 210×210мм
ҚОЛДАНЫЛУЫ: Тасымалдау (касета)
Сыйымдылығы: 100 парақ
Қадам: 4,76 мм/5,953 мм/6,35 мм
ӨЛШЕМІ: Шамамен 559×220×220мм
Шамамен 712×260×260MM
АРТЫҚШЫЛЫҒЫ: Атмосфера
МАТЕРИАЛ : ЖАЛЫН,БАЙТАЛДЫҚ-Алюминий (анодтау)
Бүйірлік пластинка (антистатикалық)
Төменгі жолақтың қақпағы-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METAL ТАСЫМАЛДАУЫ (U'SER LINE)
TRC-METAL ТАСЫМАЛДАУЫ (U'SER LINE)
TRC-METAL ТАСЫМАЛДАУЫ (U'SER LINE)
ДУШ ТАБАҚША ЖӘНЕ ИМПЛАНТ, ТАСЫМАЛДАУШЫ
