PART/1CVD (Химиялық буларды тұндыру) әдісі: 900-2300℃ температурада тантал және көміртек көздері ретінде TaCl5 және CnHm, қалпына келтіретін атмосфера ретінде H₂, Ar₂as тасымалдаушы газ, реакциялық тұндыру пленкасы. Дайындалған жабын ықшам, біркелкі және жоғары тазалықта. Дегенмен, кейбір проблемалар бар ...
Толығырақ оқыңыз