Домалау деп кремний монокристалды өзекшенің сыртқы диаметрін алмазды тегістеу дөңгелегі арқылы қажетті диаметрдегі бір кристалды өзекшеге ұнтақтау және жалпақ жиекті тірек бетін немесе монокристалды өзекшенің орналасу ойығын тегістеу процесін айтады.
Монокристалды пешпен дайындалған монокристалды өзекшенің сыртқы диаметрі тегіс және тегіс емес, оның диаметрі соңғы қолдануда қолданылатын кремний пластинаның диаметрінен үлкенірек. Қажетті өзек диаметрін сыртқы диаметрді илемдеу арқылы алуға болады.
Прокат станының тегіс жиекті тірек бетін немесе кремний монокристалды өзекшенің позициялау ойығын ұнтақтау функциясы бар, яғни қажетті диаметрі бар монокристалды өзекшеде бағытты сынауды орындау. Бірдей илемдеу станының жабдығында жалпақ жиекті тірек беті немесе монокристалды өзекшенің орналасу ойығы ұнтақталған. Әдетте, диаметрі 200 мм-ден аз монокристалды шыбықтар тегіс жиекті анықтамалық беттерді, ал диаметрі 200 мм және одан жоғары бір кристалды өзекшелерді орналасу ойықтарын пайдаланады. Диаметрі 200 мм бір кристалды шыбықтар қажет болған жағдайда тегіс жиекті тірек беттермен де жасалуы мүмкін. Бір кристалды өзекшенің бағдарлану бетінің мақсаты интегралдық схемалар өндірісінде технологиялық жабдықтың автоматтандырылған позициялау жұмысының қажеттіліктерін қанағаттандыру болып табылады; өндірісті басқаруды жеңілдету үшін кремний пластинаның кристалдық бағытын және өткізгіштік түрін көрсету және т.б.; негізгі орналасу жиегі немесе орналасу ойығы <110> бағытына перпендикуляр. Чипті орау процесі кезінде текшелерді кесу процесі вафлидің табиғи бөлінуін тудыруы мүмкін, ал орналастыру сонымен қатар фрагменттердің пайда болуына жол бермейді.
Дөңгелектеу процесінің негізгі мақсаттарына мыналар жатады: Бетінің сапасын жақсарту: Дөңгелектеу кремний пластинкаларының бетіндегі қыртыстар мен тегіссіздіктерді жоя алады және кремний пластинкаларының бетінің тегістігін жақсарта алады, бұл кейінгі фотолитография және оюлау процестері үшін өте маңызды. Стресті азайту: кремний пластинкаларын кесу және өңдеу кезінде кернеу туындауы мүмкін. Дөңгелектеу осы кернеулерді босатуға көмектеседі және келесі процестерде кремний пластинкаларының сынуын болдырмайды. Кремний пластинкаларының механикалық беріктігін арттыру: дөңгелектеу процесінде кремний пластинкаларының шеттері тегіс болады, бұл кремний пластинкаларының механикалық беріктігін жақсартуға және тасымалдау және пайдалану кезінде зақымдануды азайтуға көмектеседі. Өлшемдік дәлдікті қамтамасыз ету: Дөңгелектеу арқылы кремний пластинкаларының өлшемдік дәлдігін қамтамасыз етуге болады, бұл жартылай өткізгіш құрылғыларды жасау үшін өте маңызды. Кремний пластинкаларының электрлік қасиеттерін жақсарту: Кремний пластинкаларының шеттерін өңдеу олардың электрлік қасиеттеріне маңызды әсер етеді. Дөңгелектеу ағып кету тогын азайту сияқты кремний пластинкаларының электрлік қасиеттерін жақсарта алады. Эстетика: кремний пластинкаларының жиектері дөңгелектенгеннен кейін тегіс және әдемірек болады, бұл белгілі бір қолдану сценарийлері үшін де қажет.
Жіберу уақыты: 30 шілде 2024 ж