TheMOCVDәдіс бір фазалы InGaN эпилайерлері, III-N материалдары және көп кванттық ұңғыма құрылымдары бар жартылай өткізгіш пленкалар сияқты жоғары сапалы монокристалды жұқа қабықшаларды өсіру үшін қазіргі уақытта өнеркәсіпте қолданылатын ең тұрақты процестердің бірі болып табылады және бұл жағдайда үлкен мәнге ие. жартылай өткізгішті және оптоэлектронды құрылғыларды өндіру.
TheSiC жабыны MOCVD сенсорыүшін кремний карбидімен (SiC) қапталған мамандандырылған пластинка ұстағышы болып табыладыэпитаксиалды металлорганикалық химиялық буларды тұндыру (MOCVD) процесінің өсуі.
SiC жабыны тамаша химиялық тұрақтылыққа және термиялық тұрақтылыққа ие, бұл оны эпитаксиалды өсу процестерінде қолданылатын MOCVD сезімталдығы үшін тамаша таңдау жасайды.
MOCVD процесінің негізгі құрамдас бөлігі шығарылатын жұқа қабықтардың біркелкілігі мен сапасын қамтамасыз ететін негізгі элемент болып табылатын сенсор болып табылады.
Сусептор дегеніміз не? Сусептор - MOCVD процесінде жұқа пленка салынған субстратты қолдау және жылыту үшін қолданылатын арнайы компонент. Оның көптеген функциялары бар, соның ішінде электромагниттік энергияны сіңіру, оны жылуға айналдыру және жылуды субстратқа біркелкі бөлу. Бұл біркелкі қыздыру дәл қалыңдығы мен құрамы бар біркелкі жұқа қабықшалардың өсуі үшін өте маңызды.
Сезімталдардың түрлері:
1. Графит сезгіштері: Графит сезгіштері көбінесе қорғаныш қабатымен қапталған, мысалыкремний карбиді (SiC), ол өзінің жоғары жылу өткізгіштігімен және тұрақтылығымен танымал. TheSiC жабыныжоғары температурада коррозияға және деградацияға қарсы тұратын қатты, қорғаныс бетін қамтамасыз етеді.
2. Кремний карбиді (SiC) сенсорлары: Бұл сенсорлар толығымен SiC-тен жасалған және тамаша термиялық тұрақтылық пен тозуға төзімділікке ие. SiC сенсорлары әсіресе жоғары температуралық процестер мен коррозиялық орталар үшін қолайлы.
MOCVD-де сенсорлар қалай жұмыс істейді:
MOCVD процесінде прекурсорлар реакция камерасына енгізіледі, онда олар ыдырайды және субстратта жұқа қабықша түзу үшін әрекеттеседі. Сусептор субстраттың біркелкі қызуын қамтамасыз ету арқылы маңызды рөл атқарады, бұл бүкіл субстрат бетінде дәйекті пленка қасиеттеріне қол жеткізу үшін өте маңызды. Суцептордың материалы мен конструкциясы температура диапазоны және химиялық үйлесімділік сияқты тұндыру процесінің нақты талаптарына сай болу үшін мұқият таңдалады.
Жоғары сапалы сенсорларды қолданудың артықшылықтары:
• Жақсартылған пленка сапасы: жылуды біркелкі бөлуді қамтамасыз ете отырып, қабылдағыш жартылай өткізгіш құрылғылардың өнімділігі үшін маңызды болып табылатын тұрақты қалыңдығы мен құрамы бар пленкаларға қол жеткізуге көмектеседі.
• Жақсартылған процесс тиімділігі: Жоғары сапалы қабылдағыштар ақаулардың ықтималдығын азайту және қолдануға болатын пленкалардың шығымдылығын арттыру арқылы MOCVD процесінің жалпы тиімділігін арттырады.
• Қызмет ету мерзімі және сенімділігі: SiC сияқты берік материалдардан жасалған қабылдағыштар ұзақ мерзімді сенімділікті қамтамасыз етеді және техникалық қызмет көрсету шығындарын азайтады.
Сусептор MOCVD процесінің ажырамас бөлігі болып табылады және жұқа қабықшаның тұндыру сапасы мен тиімділігіне тікелей әсер етеді. Қол жетімді өлшемдер, MOCVD сенсорлары және бағалар туралы қосымша ақпарат алу үшін бізге хабарласудан тартынбаңыз. Біздің инженерлер сізге қолайлы материалдар бойынша кеңес беруге және барлық сұрақтарыңызға жауап беруге қуанышты болады.
Телефон: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Жіберу уақыты: 12 тамыз 2024 ж