Жартылай өткізгіш өнеркәсібі жоғары сапалы электронды құрылғыларды шығару үшін жоғары мамандандырылған жабдыққа сүйенеді. Эпитаксиалды өсу процесіндегі осындай маңызды құрамдастардың бірі - эпитаспаны тасымалдаушы. Бұл жабдық соңғы өнімнің біркелкілігі мен сапасын қамтамасыз ететін жартылай өткізгіш пластиналардағы эпитаксиалды қабаттарды тұндыруда шешуші рөл атқарады.
Эпитаксистік табаны тасымалдаушы, сондай-ақ эпитаксиялық табаны тасымалдаушы ретінде белгілі, эпитаксиалды өсу процесінде қолданылатын арнайы жасалған науа. Ол эпитаксиалды қабаттарды тұндыру кезінде жартылай өткізгіш пластиналарды ұстайды және қолдайды. Бұл тасымалдағыштар монокристалды қабаттардың өсуі үшін тұрақты платформаны қамтамасыз ететін эпитаксиалды процестерге тән жоғары температура мен коррозиялық орталарға төтеп беру үшін жасалған.
Материалдар және құрылыс:
Эпи табаны тасымалдағыштар әдетте төтенше температураға төзе алатын және химиялық реакцияларға төзімді материалдардан жасалады. Жалпы материалдарға мыналар жатады:
•Кремний карбиді (SiC): Жоғары жылуөткізгіштігімен және тозуға және тотығуға төзімділігімен танымал SiC - эпикафельді тасымалдағыштар үшін танымал таңдау.
• Графит: Тамаша термиялық қасиеттері мен жоғары температурада құрылымдық тұтастығын сақтау қабілетіне байланысты жиі пайдаланылады. Графит тасушылар әдетте беріктігі мен коррозияға төзімділігін арттыру үшін SiC-пен қапталған.
Эпитаксиалды өсу процесіндегі рөлі:
Эпитаксиалды өсу процесі субстратқа немесе пластинаға кристалды материалдың жұқа қабатын тұндыруды қамтиды. Бұл процесс дәл электрлік қасиеттері бар жартылай өткізгіш құрылғыларды жасауда өте маңызды. Эпи табаны тасымалдаушы реакция камерасындағы вафлиді қолдайды және тұндыру процесі кезінде оның тұрақтылығын қамтамасыз етеді.
Epi pan тасымалдаушының негізгі функцияларына мыналар жатады:
• Жылудың біркелкі таралуы: Тасымалдаушы пластинка бойынша біркелкі жылудың таралуын қамтамасыз етеді, бұл эпитаксиалды қабаттың тұрақты қалыңдығы мен сапасына қол жеткізу үшін маңызды.
• Химиялық оқшаулау: тұрақты және инертті бетті қамтамасыз ету арқылы тасымалдаушы эпитаксиалды қабаттың сапасын нашарлататын қажетсіз химиялық реакциялардың алдын алады.
Жоғары сапаның артықшылықтарыEpi Pan Carriers:
• Жақсартылған құрылғы өнімділігі: Біркелкі эпитаксиалды қабаттар жартылай өткізгіш құрылғылардың жоғары өнімділігіне ықпал етеді, нәтижесінде тиімділік пен сенімділік жоғарылайды.
• Өнімділіктің жоғарылауы: ақауларды азайту және қабаттың біркелкі тұнбасын қамтамасыз ету арқылы жоғары сапалы тасымалдаушылар жарамды жартылай өткізгіш пластиналар шығымын жақсартады.
• Техникалық қызмет көрсетуге кететін шығындар: Төзімді материалдар мен нақты техника жиі ауыстыру және техникалық қызмет көрсету қажеттілігін азайтып, жалпы өндіріс шығындарын азайтады.
Эпипан тасушы эпитаксиалды өсу процесінің маңызды құрамдас бөлігі болып табылады, ол жартылай өткізгіш құрылғылардың сапасы мен консистенциясына тікелей әсер етеді. Дұрыс материалдар мен дизайнды таңдай отырып, өндірушілер эпитаксиалды процесті оңтайландыра алады, бұл құрылғының өнімділігін жақсартуға және өндіріс шығындарын азайтуға әкеледі. Жетілдірілген электронды құрылғыларға сұраныс артқан сайын жоғары сапаның маңыздылығы арта түседіэпи табаны тасымалдағыштаржартылай өткізгіш өнеркәсібінде өсу жалғасуда.
Жіберу уақыты: 13 тамыз 2024 ж