Жоғары сапалы SiC ұнтақтарын өндіру процестері

Кремний карбиді (SiC)ерекше қасиеттерімен белгілі бейорганикалық қосылыс болып табылады. Моиссанит ретінде белгілі табиғи SiC өте сирек кездеседі. Өнеркәсіптік қолданбаларда,кремний карбидінегізінен синтетикалық әдіспен өндіріледі.
Semicera Semiconductor-да біз өндірістің озық әдістерін қолданамызжоғары сапалы SiC ұнтақтары.

Біздің әдістерге мыналар кіреді:
Ачесон әдісі:Бұл дәстүрлі карботермиялық қалпына келтіру процесі жоғары таза кварц құмы немесе ұсақталған кварц кенін мұнай коксы, графит немесе антрацит ұнтағымен араластыруды қамтиды. Содан кейін бұл қоспаны графит электродының көмегімен 2000°C-тан асатын температураға дейін қыздырады, нәтижесінде α-SiC ұнтағы синтезделеді.
Төмен температурадағы карботермиялық редукция:Кремний диоксиді жұқа ұнтағын көміртегі ұнтағымен біріктіріп, реакцияны 1500-ден 1800°C-қа дейін жүргізе отырып, біз тазалығы жоғары β-SiC ұнтағын шығарамыз. Бұл әдіс Ачесон әдісіне ұқсас, бірақ төмен температурада ерекше кристалдық құрылымы бар β-SiC береді. Дегенмен, қалдық көміртегі мен кремний диоксидін жою үшін кейінгі өңдеу қажет.
Кремний-көміртектің тікелей реакциясы:Бұл әдіс жоғары таза β-SiC ұнтағын алу үшін 1000-1400°C температурада көміртегі ұнтағымен металл кремний ұнтағын тікелей әрекеттесуді қамтиды. α-SiC ұнтағы кремний карбидті керамика үшін негізгі шикізат болып қала береді, ал β-SiC гауһар тәрізді құрылымымен дәл тегістеу және жылтырату қолданбалары үшін өте қолайлы.
Кремний карбиді екі негізгі кристалды пішінді көрсетеді:α және β. Текше кристалдық жүйесі бар β-SiC кремний мен көміртегі үшін бетке бағытталған текше торға ие. Керісінше, α-SiC 4H, 15R және 6H сияқты әртүрлі политиптерді қамтиды, 6Н өнеркәсіпте ең жиі қолданылатыны. Температура бұл политиптердің тұрақтылығына әсер етеді: β-SiC 1600°С-тан төмен тұрақты, бірақ осы температурадан жоғары, ол біртіндеп α-SiC политиптеріне ауысады. Мысалы, 4H-SiC 2000°C шамасында түзіледі, ал 15R және 6H политиптері 2100°C жоғары температураны қажет етеді. Атап айтқанда, 6H-SiC тіпті 2200°C-тан асатын температурада да тұрақты болып қалады.

Semicera Semiconductor компаниясында біз SiC технологиясын ілгерілетуге тырысамыз. Біздің тәжірибемізSiC жабыныжәне материалдар жартылай өткізгіш қолданбаларыңыз үшін ең жоғары сапа мен өнімділікті қамтамасыз етеді. Біздің озық шешімдеріміз сіздің процестеріңіз бен өнімдеріңізді қалай жақсарта алатынын зерттеңіз.