Фоторезист қазіргі уақытта оптоэлектрондық ақпарат индустриясында жұқа графикалық схемаларды өңдеу және өндіруде кеңінен қолданылады. Фотолитография процесінің құны бүкіл чипті өндіру процесінің шамамен 35% құрайды, ал уақыт шығыны бүкіл чип процесінің 40% - 60% құрайды. Бұл жартылай өткізгіштерді өндірудегі негізгі процесс. Фоторезисттік материалдар чиптерді өндіру материалдарының жалпы құнының шамамен 4% құрайды және жартылай өткізгіш интегралды схемаларды өндіруге арналған негізгі материалдар болып табылады.
Қытайдың фоторезистік нарығының өсу қарқыны халықаралық деңгейден жоғары. Келешек өнеркәсiптi зерттеу институтының мәлiметтерi бойынша, 2019 жылы елiмiң жергiлiктi фоторезистiк қамтамасыз етуi 7 миллиард юань шамасында болды, ал 2010 жылдан берi құрама өсу қарқыны 11%-ға жетiп, бұл дүниежүзiлiк өсу қарқынынан әлдеқайда жоғары. Дегенмен, жергілікті жеткізу әлемдік үлестің шамамен 10% құрайды, ал отандық алмастыру негізінен төмен деңгейлі ПХД фоторезисттері үшін қол жеткізілді. СКД және жартылай өткізгіш өрістердегі фоторезисттердің өзін-өзі қамтамасыз ету жылдамдығы өте төмен.
Фоторезист - маска үлгісін субстратқа тасымалдау үшін жарық реакциясынан кейін әртүрлі ерігіштігін пайдаланатын графикалық тасымалдағыш. Ол негізінен фотосезімтал агенттен (фотобастаушы), полимеризатордан (фотосезімтал шайырдан), еріткіштен және қоспадан тұрады.
Фоторезисттің шикізаты негізінен шайыр, еріткіш және басқа қоспалар болып табылады. Олардың ішінде еріткіш ең үлкен үлесті, әдетте 80%-дан астамды құрайды. Басқа қоспалар массаның 5%-дан азын құраса да, олар фоторезисттің бірегей қасиеттерін анықтайтын негізгі материалдар, соның ішінде фотосенсибилизаторлар, беттік белсенді заттар және басқа материалдар. Фотолитография процесінде фоторезист кремний пластиналары, шыны және металл сияқты әртүрлі субстраттарға біркелкі жабылады. Экспозициядан, өңдеуден және оюдан кейін маскадағы үлгі маскаға толығымен сәйкес келетін геометриялық үлгіні қалыптастыру үшін пленкаға ауыстырылады.
Фоторезистті төменгі ағынды қолдану өрістеріне қарай үш санатқа бөлуге болады: жартылай өткізгіш фоторезист, панельдік фоторезист және ПХД фоторезисті.
Жартылай өткізгішті фоторезист
Қазіргі уақытта KrF/ArF әлі де негізгі өңдеу материалы болып табылады. Интегралды микросхемалардың дамуымен фотолитография технологиясы G-line (436nm) литографиядан, H-line (405nm) литографиядан, I-line (365nm) литографиядан терең ультракүлгін DUV литографиясына (KrF248nm және ArF193nm) дейін дамудан өтті. 193 нм батыру және бірнеше бейнелеу технологиясы (32нм-7нм), содан кейін экстремалды ультракүлгін (EUV, <13,5нм) литография, тіпті оптикалық емес литография (электрондық сәуленің экспозициясы, иондық сәуленің экспозициясы) және фотосезімтал толқын ұзындығы ретінде сәйкес толқын ұзындығы бар фоторезисттердің әртүрлі түрлері де қолданылған. қолданылды.
Фоторезистік нарық өнеркәсіптік шоғырланудың жоғары дәрежесіне ие. Жапондық компаниялар жартылай өткізгіш фоторезистілер саласында абсолютті артықшылыққа ие. Жартылай өткізгішті фоторезисттердің негізгі өндірушілеріне Tokyo Ohka, JSR, Sumitomo Chemical, Shin-Etsu Chemical Жапония; Оңтүстік Кореядағы Dongjin Semiconductor; және АҚШ-тағы DowDuPont, олардың арасында жапондық компаниялар нарықтың шамамен 70% алады. Өнімдер бойынша Tokyo Ohka g-line/i-line және Krf фоторезистілері салаларында жетекші орын алады, нарық үлесі тиісінше 27,5% және 32,7%. JSR Arf фоторезисті саласындағы ең жоғары нарық үлесіне ие, 25,6%.
Fuji Economic болжамдарына сәйкес, әлемдік ArF және KrF желім өндірісінің қуаты 2023 жылы 1870 және 3650 тоннаға жетеді деп күтілуде, нарық көлемі шамамен 4,9 миллиард және 2,8 миллиард юаньды құрайды. Жапондық фоторезисттердің көшбасшылары JSR және TOK-тің жалпы пайда маржасы, соның ішінде фоторезисті, шамамен 40% құрайды, оның ішінде фоторезисттік шикізаттың құны шамамен 90% құрайды.
Отандық жартылай өткізгіш фоторезисті өндірушілерге Шанхай Синьян, Нанкин Optoelectronics, Jingrui Co., Ltd., Beijing Kehua және Hengkun Co., Ltd. кіреді. Қазіргі уақытта тек Beijing Kehua және Jingrui Co., Ltd. ғана KrF фоторезистін жаппай өндіру мүмкіндігіне ие. , және Пекин Кехуа өнімдері жеткізілді SMIC. Шанхай Синьян қаласында салынып жатқан жылына 19 000 тонна ArF (құрғақ процесс) фоторезисттік жобасы 2022 жылы толық өндіріске жетеді деп күтілуде.
Панельдік фоторезист
Фоторезист - бұл СКД панелін өндіруге арналған негізгі материал. Әртүрлі пайдаланушылардың пікірінше, оны RGB желіміне, BM желіміне, OC желіміне, PS желіміне, TFT желіміне және т.б.
Панельдік фоторезистілер негізінен төрт санатты қамтиды: TFT сымының фоторезисттері, СКД/ТП аралық фоторезистілері, түсті фоторезистілер және қара фоторезистілер. Олардың ішінде ITO сымдары үшін TFT сымының фоторезисттері қолданылады, ал СКД/ТП тұндыру фоторезисттері СКД екі шыны астары арасындағы сұйық кристалды материалдың қалыңдығын тұрақты ұстау үшін қолданылады. Түсті фоторезистілер және қара фоторезистілер түс сүзгілеріне түсті көрсету функцияларын бере алады.
Панельдік фоторезисттердің нарығы тұрақты болуы керек, ал түсті фоторезисттерге сұраныс жетекші болып табылады. 2022 жылы жаһандық сатылым 22 900 тоннаға жетеді және сатылым 877 миллион АҚШ долларына жетеді деп күтілуде.
2022 жылы TFT панелінің фоторезисттерінің, LCD/TP аралық фоторезисттердің және қара фоторезисттердің сатылымы тиісінше 321 миллион АҚШ доллары, 251 миллион АҚШ доллары және 199 миллион АҚШ долларына жетеді деп күтілуде. Zhiyan Consulting бағалауы бойынша, панельдік фоторезисттердің ғаламдық нарығының көлемі жетеді. 2020 жылы шамамен 4% өсу қарқынымен 16,7 млрд юань. Біздің бағалауымызша, фоторезистілер нарығы 2025 жылға қарай 20,3 миллиард юаньға жетеді. Олардың ішінде СК өнеркәсіп орталығының ауысуымен, менің елімде СКД фоторезистінің нарық көлемі мен оқшаулану жылдамдығы біртіндеп артады деп күтілуде.
ПХД фоторезисті
ПХД фоторезисті жабу әдісіне сәйкес ультракүлгін сәулелендіретін сияға және ультракүлгін бүріккіш сияға бөлуге болады. Қазіргі уақытта отандық PCB сия жеткізушілері біртіндеп отандық алмастыруға қол жеткізді, ал Rongda Photosensitive және Guangxin Materials сияқты компаниялар ПХД сиясының негізгі технологияларын игерді.
Отандық TFT фоторезисті және жартылай өткізгіш фоторезист әлі бастапқы барлау сатысында. Jingrui Co., Ltd., Yak Technology, Yongtai Technology, Rongda Photosensitive, Xinyihua, China Electronics Rainbow және Feikai Materials барлығының TFT фоторезисті саласындағы макеттері бар. Олардың ішінде Feikai Materials және Beixu Electronics компаниясы жылына 5000 тоннаға дейін өндіруді жоспарлап отыр. Yak Technology бұл нарыққа LG Chem түсті фоторезисттік бөлімшесін сатып алу арқылы кірді және арналар мен технологияда артықшылықтарға ие.
Фоторезист сияқты өте жоғары техникалық кедергілері бар салалар үшін техникалық деңгейде серпілістерге қол жеткізу негіз болып табылады, ал екіншіден, жартылай өткізгіш өнеркәсібінің қарқынды дамуы қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін процестерді үздіксіз жетілдіру қажет.
Өнім туралы ақпарат және кеңес алу үшін веб-сайтымызға қош келдіңіз.
Жіберу уақыты: 27 қараша 2024 ж