Жартылай өткізгіштер өнеркәсібі бұрын-соңды болмаған өсудің куәсі болып отыр, әсіресе бұл саладакремний карбиді (SiC)қуат электроникасы. Көптеген ауқымдывафлиэлектр көліктеріндегі SiC құрылғыларына сұранысты қанағаттандыру үшін салынып жатқан немесе кеңейтіліп жатқан зауыттар, бұл бум пайданың өсуі үшін керемет мүмкіндіктер береді. Дегенмен, ол инновациялық шешімдерді талап ететін бірегей қиындықтарды да тудырады.
SiC чиптерінің жаһандық өндірісінің ұлғаюының негізінде жоғары сапалы SiC кристалдарын, пластиналарды және эпитаксиалды қабаттарды өндіру жатыр. Мұнда,жартылай өткізгішті графитматериалдар негізгі рөл атқарады, SiC кристалының өсуін және SiC эпитаксиалды қабаттарының тұнбасын жеңілдетеді. Графиттің жылу оқшаулауы және инерттілігі оны кристалдық өсу және эпитаксистік жүйелердегі тигельдерде, тұғырларда, планеталық дискілерде және спутниктерде кеңінен қолданылатын таңдаулы материалға айналдырады. Осыған қарамастан, қатал процесс жағдайлары графит компоненттерінің тез тозуына әкеліп соғатын және кейіннен жоғары сапалы SiC кристалдары мен эпитаксиалды қабаттардың өндірісіне кедергі келтіретін айтарлықтай қиындық тудырады.
Кремний карбиді кристалдарын өндіру 2000°C асатын температураны және жоғары коррозиялық газ заттарын қоса алғанда, өте қатал технологиялық жағдайларды талап етеді. Бұл көбінесе бірнеше технологиялық циклдерден кейін графит тигельдерінің толық коррозиясына әкеледі, осылайша өндіріс шығындарын арттырады. Сонымен қатар, қатал жағдайлар графит компоненттерінің беткі қасиеттерін өзгертіп, өндіріс процесінің қайталануы мен тұрақтылығына нұқсан келтіреді.
Осы қиындықтармен тиімді күресу үшін қорғаныс жабын технологиясы ойынды өзгертуші ретінде пайда болды. Қорғаныс жабындары негізіндетантал карбиді (TaC)графит құрамдас бөліктерінің тозуы және графитпен қамтамасыз ету тапшылығы мәселелерін шешу үшін енгізілген. TaC материалдары 3800°C асатын балқу температурасын және ерекше химиялық төзімділігін көрсетеді. Химиялық буларды тұндыру (CVD) технологиясын қолдану,TaC жабындарықалыңдығы 35 миллиметрге дейін графит құрамдас бөліктеріне біркелкі салынуы мүмкін. Бұл қорғаныс қабаты материалдың тұрақтылығын арттырып қана қоймайды, сонымен қатар графит компоненттерінің қызмет ету мерзімін айтарлықтай ұзартады, нәтижесінде өндіріс шығындарын азайтады және жұмыс тиімділігін арттырады.
Semicera, жетекші жеткізушіTaC жабындары, жартылай өткізгіш өнеркәсібінде төңкеріс жасауда маңызды рөл атқарды. Өзінің озық технологиясымен және сапаға деген мызғымас адалдығымен Semicera жартылай өткізгіш өндірушілерге күрделі қиындықтарды жеңуге және жаңа табысқа жетуге мүмкіндік берді. Теңдесі жоқ өнімділігі мен сенімділігі бар TaC жабындарын ұсына отырып, Semicera бүкіл әлем бойынша жартылай өткізгіш компаниялар үшін сенімді серіктес ретіндегі позициясын бекітті.
Қорытындылай келе, инновациялармен қуатталған қорғаныс жабын технологиясыTaC жабындарыSemicera компаниясы жартылай өткізгіш ландшафтты қайта құруда және тиімдірек және тұрақты болашаққа жол ашуда.
Хабарлама уақыты: 2024 жылдың 16 мамыры