Жартылай өткізгішті өндіруде қолданылатын жұқа пленкалардың барлығының кедергісі бар, ал пленка кедергісі құрылғының жұмысына тікелей әсер етеді. Біз әдетте пленканың абсолютті кедергісін өлшемейміз, бірақ оны сипаттау үшін парақ кедергісін пайдаланамыз.
Парақ кедергісі және көлемдік кедергі дегеніміз не?
Көлемдік кедергі, сонымен қатар көлемдік меншікті кедергі ретінде белгілі, материалдың электр тогының ағынына қаншалықты кедергі жасайтынын сипаттайтын материалға тән қасиет. Жиі қолданылатын ρ белгісі, бірлік Ω болып табылады.
Парақ кедергісі деп те аталады, ағылшынша атауы - парақ кедергісі, ол бір аумаққа пленканың қарсылық мәнін білдіреді. Өрнеу үшін Rs немесе ρs жиі қолданылатын таңбалар, бірлік Ω/кв немесе Ω/□
Екеуінің арасындағы қатынас: парақ кедергісі = көлемдік кедергі/пленка қалыңдығы, яғни Rs =ρ/t
Неліктен парақ кедергісін өлшеу керек?
Пленканың абсолютті кедергісін өлшеу пленканың геометриялық өлшемдерін (ұзындығы, ені, қалыңдығы) нақты білуді талап етеді, оның көптеген айнымалылары бар және өте жұқа немесе дұрыс емес пішінді қабыршақтар үшін өте күрделі. Парақтың кедергісі тек пленка қалыңдығына байланысты және күрделі өлшемді есептеулерсіз тез және тікелей сынауға болады.
Қандай пленкаларға парақ кедергісін өлшеу керек?
Әдетте, өткізгіш пленкалар мен жартылай өткізгіш пленкалардың квадраттық кедергісін өлшеу қажет, ал оқшаулағыш пленкаларды өлшеудің қажеті жоқ.
Жартылай өткізгішті легирлеуде кремнийдің парағының кедергісі де өлшенеді.
Квадрат кедергісін қалай өлшеуге болады?
Төрт зондты әдіс әдетте өнеркәсіпте қолданылады. Төрт зондты әдіс 1E-3 пен 1E+9Ω/кв дейінгі шаршы кедергіні өлшей алады. Төрт зондты әдіс зонд пен үлгі арасындағы жанасу кедергісіне байланысты өлшеу қателерін болдырмайды.
Өлшеу әдістері:
1) Үлгі бетіне сызықты орналасқан төрт зондты орнатыңыз.
2) Екі сыртқы зонд арасына тұрақты ток жіберіңіз.
3) Екі ішкі зонд арасындағы потенциалдар айырмасын өлшеу арқылы қарсылықты анықтаңыз
RS : парақ кедергісі
ΔV: Ішкі зондтар арасында өлшенген кернеудің өзгеруі
I : сыртқы зондтар арасында қолданылатын ток
Хабарлама уақыты: 29 наурыз 2024 ж