Жартылай өткізгіштер өрісінде кремний карбиді керамикасын қолдану

Жартылай өткізгіштер:

Жартылай өткізгіштер өнеркәсібі «технологияның бір ұрпағы, процесстің бір буыны және жабдықтың бір буыны» өнеркәсіптік заңын ұстанады, ал жартылай өткізгіш жабдықтарды жаңарту және қайталау көбінесе дәл бөлшектердің технологиялық серпілісіне байланысты. Олардың ішінде дәл керамикалық бөлшектер химиялық буларды тұндыру, физикалық буларды тұндыру, иондарды имплантациялау және оюлау сияқты негізгі жартылай өткізгіштерді өндіру буындарында маңызды қолданбаларға ие жартылай өткізгіш дәл бөлшектердің ең өкілді материалдары болып табылады. Мойынтіректер, бағыттаушы рельстер, төсемдер, электростатикалық патрондар, механикалық ұстағыштар және т.б. сияқты. Әсіресе жабдық қуысының ішінде ол тірек, қорғаныс және бұру рөлін атқарады.

640

2023 жылдан бастап Нидерланды мен Жапония да бақылауға қатысты жаңа ережелерді немесе сыртқы сауда қаулыларын дәйекті түрде шығарды, жартылай өткізгішті жабдықтарға, соның ішінде литографиялық машиналарға экспорттық лицензия ережелерін қосты және жартылай өткізгіштерді жаһандануға қарсы тенденция біртіндеп пайда болды. Жеткізу тізбегін тәуелсіз бақылаудың маңыздылығы барған сайын айқын бола бастады. Жартылай өткізгіш жабдықтардың бөлшектерін локализациялау сұранысына тап болған отандық компаниялар өнеркәсіпті дамытуға белсенді түрде ықпал етуде. Zhongci Electronics отандық жартылай өткізгішті жабдықтар өнеркәсібінің «тартелестік» мәселесін шеше отырып, қыздыру тақталары мен электростатикалық патрондар сияқты жоғары технологиялық дәлдіктегі бөлшектерді локализациялауды жүзеге асырды; Dezhi New Materials, SiC жабыны бар графит негіздері мен SiC ою сақиналарының жетекші отандық жеткізушісі 100 миллион юань қаржыландыруды сәтті аяқтады.
Жоғары өткізгіштік кремний нитриді керамикалық субстраттар:

Кремний нитриді керамикалық субстраттар негізінен таза электрлік көліктердің (EV) және гибридті электрлік көліктердің (HEVs) қуат блоктарында, жартылай өткізгіш құрылғыларында және инверторларында қолданылады және үлкен нарықтық әлеуеті мен қолдану перспективаларына ие.

640 (1)

Қазіргі уақытта коммерциялық қолдану үшін жоғары жылу өткізгіштік кремний нитриді керамикалық субстрат материалдары жылу өткізгіштік ≥85 Вт/(м·К), иілу беріктігі ≥650МПа және сынуға төзімділік 5~7МПа·м1/2 талап етеді. Жоғары жылу өткізгіштігі жоғары кремний нитриді керамикалық субстраттарды жаппай өндіруге шынымен мүмкіндігі бар компаниялар негізінен Toshiba Group, Hitachi Metals, Japan Electric Chemical, Japan Maruwa және Japan Fine Ceramics болып табылады.

Кремний нитриді керамикалық субстрат материалдары бойынша отандық зерттеулер де біршама жетістіктерге қол жеткізді. Sinoma High-Tech Nitride Ceramics Co., Ltd. компаниясының Бейжің филиалының таспа құю процесі арқылы дайындалған кремний нитриді керамикалық субстраттың жылу өткізгіштігі 100 Вт/(м·К); Beijing Sinoma Artificial Crystal Research Institute Co., Ltd. иілу беріктігі 700-800МПа, сыну беріктігі ≥8МПа·м1/2 және жылу өткізгіштігі ≥80Вт/(м·К) кремний нитриді керамикалық негізді сәтті дайындады. агломерациялау әдісі мен процесін оңтайландыру арқылы.


Хабарлама уақыты: 29 қазан 2024 ж